纳米透镜及其应用的扫描显微镜.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101470219A

(43)申请公布日2009.07.01

(21)申请号CN200710173371.X

(22)申请日2007.12.27

(71)申请人上海科学院;上海微波设备研究所;阮巍

地址200235上海市钦州路100号5楼

(72)发明人阮巍

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司

代理人陈亮

(51)Int.CI

G02B3/00

G02B21/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

纳米透镜及其应用的扫描显微镜

(57)摘要

本发明公开一种纳米透镜。该纳米

透镜包括透明基底以及形成于基底上的不

透光的金属膜，该金属膜上开有多个同心

圆环，在各圆环中，自其圆心向外的第n

个圆环的内半径r

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、一种纳米透镜，包括透明基底以及形成于基底上的不透光的金属膜，该金属膜

上开有多个同心圆环，在各圆环中，自其圆心向外的第n个圆环的内半径

rsubni/sub满足：rsubni/sub＝nrsub0/sub，rsub0/sub为预定参数，

n＝1，2，...，第n个圆环的外半径满足：rsubno/sub＝rsubni/sub+w，其

中w为预定参数。

2、如权利要求1所述的纳米透镜，其特征在于，各该圆环贯穿该金属膜。

3、如权利要求1所述的纳米透镜，其特征在于，各该圆环未贯穿该金属膜，且未

被贯穿的金属膜厚度介于20nm～60nm之间。

4、如权利要求1～3任一项所述的纳米透镜，其特征在于，rsub0/sub介于1～

10倍的入射光波长之间。

5、如权利要求1～3任一项所述的纳米透镜，其特征在于，w小于入射光波长。

6、如权利要求1～3任一项所述的纳米透镜，其特征在于，n介于1～6之间。

7、如权利要求1～3任一项所述的纳米透镜，其特征在于，该金属膜中心具有一圆

孔，该圆孔位于各同心圆环的圆心。

8、如权利要求1所述的纳米透镜，其特征在于，该纳米透镜的焦距介于1～100微

米之间。

9、一种纳米透镜，包括透明基底以及形成于基底上的不透光的金属膜，其特征在

于，该金属膜上具有由多个小孔形成的阵列，各小孔的最大宽度为w，相邻小孔的

中心间距为d，其中w满足：w≤2倍入射光波长，d介于2w～10w之间。

10、如权利要求9所述的纳米透镜，其特征在于，各该小孔是方孔、圆孔、、三角

形孔和菱形孔其中之一。

11、如权利要求9所述的纳米透镜，其特征在于，w介于0.1至0.5倍入射光波长

之间。

12、一种扫描显微镜，包括：光学投影系统、分束器、聚焦元件、成像系统和可动

载物台，该分束器具有一入射光侧、一出射光侧和一反射光侧，该光学投影系统设

于该入射光侧以向该分束器照射投影光，该聚焦元件设于该出射光侧以聚焦该分束

器透射的光束，该载物台设于该聚焦元件的的出射光路径上以接收该聚焦元件所聚

焦的光束，该成像系统设于该反射光侧以接收载物台上的物体反射的光束；其中，

该聚焦元件包括至少一纳米透镜，其是权利要求1或9所述的纳米透镜，且该载物

台可移动以使放置于其上的待观察物品的各点被该纳米透镜照射。

13、一种扫描显微镜，包括：光学投影系统、聚焦元件、载物台、反射镜和成像系

统，该聚焦元件设于该光学投影系统的出光路径上以聚焦该光学投影系统的投影光，

该载物台设于聚焦元件的出射光路径上以接收该聚焦元件所聚焦的光束，并且该载

物台具有一可放置待观察物品的透明载物片，该反射镜设于该载物片的透射光路径

上，该成像系统设于该反射镜的反射光路径上以接收待观察物品所透射的光束，其

中，

该聚焦元件包括至少一纳米透镜，其是权利要求1或9所述的纳米透镜，该载物台

可移动以使该待