半导体器件 能量收集和产生半导体器件 第4部分：柔性压电能量收集器测试和评估方法.pdfVIP

半导体器件能量收集和产生半导体器件

第4部分：柔性压电能量收集器测试和评估方法

1范围

本文件规定了术语、定义、符号、测试和评估方法，用于评估和确定实际使用的柔性压电能量收集

器的性能特征。

本文件适用于消费、一般工业、可穿戴电子、军事和生物医学应用的能量收集器件，不受器件技术

和尺寸的任何限制。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T4937.12半导体器件机械和气候测试方法第12部分：扫频振动（IEC60749-12:2002,IDT）

IEC60749-5半导体器件机械和气候测试方法第5部分：稳态温度湿度偏置寿命测试

（Semiconductordevices–Mechanicalandclimatictestmethods–Part5:Steady-statetemperaturehumidity

biaslifetest）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1一般术语

3.1.1

柔性的flexible

弯曲或屈曲的能力。

3.1.2

柔性能量收集器flexibleenergyharvester

将弯曲、拉伸或扭转能量转化为电能的能量转换器。

注：柔性能量收集器由弹簧和压电换能器组成。压电换能器的弯曲、拉伸或扭转产生的机械应力转换为电能，如图

1

1所示。压电换能器包含两个电极和压电薄膜或纳米线。外部应力使柔性基底发生弯曲、拉伸或扭转运动，参

见附录C。柔性基底弯曲的同时，弯曲的弹簧引起压电薄层的拉伸和收缩。压电薄膜的上表面电极和下表面电

极收集由压电效应产生的电荷。

注：柔性压电能量收集器可分为四种不同类型，参见附录B。

说明：

1——压电薄层，是压电换能器用于能量收集的主体层；

2——弹性层，通过弹性作用耦合柔性基底产生的弯曲、拉伸或扭转；

R——外部负载；

L+,L-——能量收集器输出。

图1带压电薄膜柔性基底的柔性能量收集器

3.1.3

单晶悬臂梁unimorphcantilever

一个压电层的悬臂梁。

注：单晶悬臂梁由两层组成，其中压电层粘贴至非压电层上，非压电层通过拉伸与收缩使压电层产生应力。

3.1.4

双晶悬臂梁bimorphcantilever

两个压电层组成的悬臂梁。

注：在双压电晶片悬臂梁中，非压电层在两个压电层之间。

3.1.5

柔性基底flexiblesubstrate

2

由柔性材料制成的基板，例如聚酰亚胺和聚二甲基硅氧烷（PDMS）。

3.1.6

弹簧spring

用于存储机械能的弹性体，弹性常数表示为kSP。

[来源：IEC62830-1:2017,3.1.5]

3.2压电换能器

3.2.1

压电换能器piezoelectrictransducer

利用压电效应将机械能转化为电能的能量转换器。

[来源：IEC62830-1:2017,3.2.1]

3.2.2

压电效应piezoelectriceffect

压电材料的机械变形使该材料产生与之对应比例变化的电极化效应。

3.2.3

压电常数piezoelectricconstant

d

在施加应力时，单位应变所引起压电材料极化的量化值。

3.2.4

机电耦合系数electromechanicalcouplingcoefficient

k

描述电能转化为机械能或机械能转化为电能的转换率。

注1：该系数是弹性常数、介电常数和压电常数的组合，在压电换能器的表达式中使用。