半导体器件 能量收集和产生半导体器件 第1部分：基于振动的压电能量收集器.pdfVIP

半导体器件能量收集和产生半导体器件

第1部分：基于振动的压电能量收集器

1范围

本文件依据基于振动的压电能量收集原理，建立了基于振动的压电能量收集器的测试、评价和分级

的程序。本文件规定了基于振动的压电能量收集器的术语、定义、符号、组成和测试方法，用于评估和

确定实际使用中的基于振动的压电能量收集器性能特征。

本文件适用于消费、通用工业、军事和航空航天中应用的能量收集器件，对器件技术和尺寸没有任

何限制。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T4937.12-2018半导体器件机械和气候试验方法第12部分：扫频振动（IEC

60749-12:2002,IDT）

IEC60749-5:2017，半导体器件机械和气候试验方法第5部分：稳态温湿度偏置寿命试验

（Semiconductordevices–Mechanicalandclimatictestmethods–Part5:Steady-state

temperaturehumiditybiaslifetest）

3术语和定义

3.1一般术语

下列术语和定义适用于本文件。

3.1.1

振动vibration

围绕平衡位置发生的机械振荡。

3.1.2

基于振动的能量收集器vibrationbasedenergyharvester

将振动能量转化为电能的能量转换器

1

注：基于振动的压电能量收集器使用压电换能器将振动能量转换为电能，它包括质量块、弹簧和压电换能器，如图

1所示。压电换能器包含两个端子和一个压电薄膜。激励振动引起质量块往复运动，悬挂质量块的弹簧弯曲，

弹簧的弯曲引起压电薄膜拉伸和压缩，压电薄膜的顶部和底部端子收集压电效应产生的电荷。

注：基于振动的压电能量收集器如图2所示。它由质量块、弹簧、阻尼和压电换能器组成。压电换能器消耗并转换

振动质量块的动能。因此，压电换能器通常被视为阻尼。

能量收集器的组成能量收集器的工作组件

A(t)：激励振动，它将机械振荡引入固定基板，

1：压电薄膜：用于能量收集的压电换能器的主体层

并激振能量收集器的质量块

2：弹簧：通过悬挂将激励振动与质量块耦合R：外部负载

3：质量块：从激励振动引入机械运动耦合L+,L-：能量收集器输出端子

图1使用悬臂梁和压电薄膜的基于振动的压电能量收集器

2

压电能量收集器的关键参数

ksp弹性常数m有效质量

b阻尼系数PZ压电换能器

m

A(t)激励振动

图2基于振动的压电能量收集器的概念图

3.1.3

质量-弹簧-阻尼系统mass-spring-dampingsystem

使用有效质量、弹簧和阻尼来推导振动能量收集器运动的系统

3.1.4

有效质量effectivemass

m

质量-弹簧-阻尼系统中所有组成部分在振动时使系统产生指定运动规律的总质量

3.1.5

弹簧spring

用弹性常数k存储机械能的弹性物体

sp

3.1.6

寄生阻尼parasiticdamping

降低振动物体加速度的效应，用阻尼系数bm表示

3.2压电换能器