用于高温部件的润滑剂涂覆装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101545092A

(43)申请公布日2009.09.30

(21)申请号CN200810179396.5

(22)申请日2008.12.10

(71)申请人韩电KPS株式会社

地址韩国京畿道

(72)发明人崔相勋金东一李东旻

(74)专利代理机构北京润平知识产权代理有限公司

代理人周建秋

(51)Int.CI

C23C14/34

C23C14/14

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

用于高温部件的润滑剂涂覆装置

(57)摘要

公开了一种用于高温部件的润滑剂

涂覆装置，该装置采用溅射方法在高温部

件的表面上形成润滑层。该润滑剂涂覆装

置包括腔室，该腔室具有固定部件和门，

所述固定部件用于将所述高温部件固定于

其中，所述门用于界定所述高温部件的溅

射空间。旋转驱动部件旋转并驱动所述高

温部件。真空泵在所述溅射空间内产生真

空。惰性气体供应部件为所述溅射空间提

供惰性气体状态。多个靶安装在所述门的

上表面、前表面和后表面上。多个溅射枪

以与所述靶相对应的方式安装在所述门的

上表面、前表面和后表面，并从所述靶释

放原子，并将所述原子沉积到所述高温部

件上。控制部件控制所述旋转驱动部件、

真空泵、惰性气体供应部件和溅射枪。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种用于高温部件的润滑剂涂覆装置，该装置包括：

腔室，该腔室具有固定部件和门，所述固定部件用于将所述高温部件固定于其中，

所述门用于界定所述高温部件的溅射空间；

旋转驱动部件，该旋转驱动部件用于旋转并驱动固定在所述固定部件内的所述高温

部件；

真空泵，该真空泵用于在所述腔室的所述溅射空间内产生真空；

惰性气体供应部件，该惰性气体供应部件用于为所述腔室的所述溅射空间提供惰性

气体状态；

多个靶，所述靶以面向所述高温部件的方式安装在所述门的上表面、前表面和后表

面；

多个溅射枪，所述溅射枪以与所述靶相对应的方式安装在所述门的上表面、前表面

和后表面，并从所述靶释放原子，并将所述原子沉积到所述高温部件上；以及

控制部件，该控制部件用于控制所述旋转驱动部件、真空泵、惰性气体供应部件和

溅射枪。

2.根据权利要求1所述的润滑剂涂覆装置，其中，所述固定部件包括：

移动板，该移动板具有前滑轨和后滑轨，以使得所述旋转驱动部件前后滑动；

框架，该框架具有左滑轨和右滑轨，以使得所述移动板左右滑动；

夹具，该夹具设置在所述框架的左端和右端中的每个上，以可旋转地支撑所述高温

部件。

3.根据权利要求1或2所述的润滑剂涂覆装置，其中，所述固定部件能够根据所述

高温部件的大小和形状而替换。

4.根据权利要求1所述的润滑剂涂覆装置，该装置还包括：

液压气动机构，该液压气动机构在所述控制部件的控制下操作，并使得所述门旋转，

以开启或关闭所述门。

5.根据权利要求1所述的润滑剂涂覆装置，其中，所述旋转驱动部件包括：

驱动电机，该驱动电机用于产生旋转驱动力；

驱动辊，该驱动辊设置在所述框架的中间，并通过所述驱动电机旋转；以及

导向辊，该导向辊位于所述驱动辊的左侧和右侧中的每一侧上。

6.根据权利要求1所述的润滑剂涂覆装置，其中，每个所述靶通过螺栓固定在所述

门上，从而预定的靶在所述高温部件的轴向改变该靶的位置。

7.根据权利要求1所述的润滑剂涂覆装置，其中，一些所述靶为粘接层靶，其余靶

为润滑层靶。

8.根据权利要求7所述的润滑剂涂覆装置，其中，每个所述粘接层靶由镍制成，每

个所述润滑层靶由银钯合金制成。

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于高温部件的润滑剂涂覆装置，该装置采用溅射法在高温部件的

表面形成润滑层，从而防止在发电厂或类