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微纳加工技术智慧树知到期末考试答案+章节答案2024年哈尔滨工业大学

离子在固体材料中散射，增大能量或减小离子质量，会增加离子穿透深度。（）

答案:对

如果衬底材料是晶体，在某原子排列稀疏的方向上，离子可能“长驱直入”，这就是沟道效应。（）

答案:对

雪花的形成过程是一种自组装形成过程。（）

答案:对

投影式曝光包括1:1投影式曝光和缩小投影曝光系统。（）

答案:对

沟道效应不仅发生在晶体衬底材料中，还常发生在非晶衬底材料中。（）

答案:错

矢量扫描曝光的电子束不只在曝光图形部分扫描。（）

答案:错

溶脱剥离的关键是光刻胶厚度远厚于沉积薄膜的厚度、侧壁沉积少和衬底不经历高温加热。（