检测传感器、振子.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101617208A

(43)申请公布日2009.12.30

(21)申请号CN200880005713.X

(22)申请日2008.03.03

(71)申请人独立行政法人产业技术综合研究所;奥林巴斯株式会社

地址日本东京

(72)发明人鲁健池原毅三原孝士

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司

代理人黄纶伟

(51)Int.CI

G01N5/02

B06B1/06

G01G3/16

G01V9/00

H01L41/08

H01L41/09

H01L41/187

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

检测传感器、振子

(57)摘要

本发明的目的是提供能够实现高灵

敏度化的检测传感器和振子。采用不在振

子(30)表面上设置压电层或驱动电极等、

由与振子(30)分开设置的致动器(40)来驱动

振子(30)的方式。致动器(40)为悬臂状，设

于振子(30)的固定端(30a)附近。而且，经

由连接梁(70)将致动器(40)的振动传递到振

子(30)。由此，可抑制压电层或驱动电极

等对振子(30)振动的妨碍，从而能够提高

振子(30)的Q值，能够使检测传感器(10)成

为更高灵敏度的检测传感器。并且，如果

是同等的灵敏度，则能够实现大大小于现

有检测传感器的小型检测传感器(10)。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种检测传感器，其特征在于，该检测传感器具有：

振子，其为一端部或两端部固定的梁状，并且振动特性根据具有质量的物质的附着

或吸附而发生变化；

致动器，其设于所述振子附近，按照所设定的振动特性进行振动；

连接部件，其连接所述致动器和所述振子，并通过将所述致动器的振动传递到所述

振子来使所述振子振动；以及

检测部，其通过检测所述振子的振动变化来检测所述物质。

2.根据权利要求1所述的检测传感器，其特征在于，

所述致动器具有：

梁状的致动器主体，其一端部或两端部固定；

由压电材料构成的压电层，其设于所述致动器主体的表面，以使所述致动器主体产

生振动；以及

驱动电极，其设于所述致动器主体的表面，对所述压电层施加电压。

3.根据权利要求2所述的检测传感器，其特征在于，

所述检测传感器设有矫正部件，该矫正部件用于矫正由所述压电层内部存在的残留

应力而引起的所述致动器主体的挠曲。

4.根据权利要求1所述的检测传感器，其特征在于，

所述致动器和所述振子被设置成相隔比所述振子振动时在所述振子表面附近形成的

边界层的厚度大的间隔。

5.根据权利要求1所述的检测传感器，其特征在于，

所述检测部设于所述振子的固定端部附近，由检测因所述振子的振动而产生的应力

变化的压电电阻元件构成。

6.根据权利要求1所述的检测传感器，其特征在于，

当通过所述致动器在2次以上的高次振动模态下驱动所述振子时，所述连接部件在

所述振子的振幅为零的节点位置或其附近与所述振子连接。

7.根据权利要求1所述的检测传感器，其特征在于，

所述检测部检测附着在所述振子上的所述物质的量。

8.根据权利要求1所述的检测传感器，其特征在于，

所述物质是特定的分子、或者具有特定特性或特征的多种分子。

9.一种振子，其特征在于，该振子具有：

梁状的振子主体，其一端部或两端部固定；

致动器，其设于所述振子主体附近，按照所设定的振动特性进行振动；以及

连接部件，其连接所述致动器和所述振子主体，并通过将所述致动器的振动传递到

所述振子主体来使所述振子主体振动。

说明书

技术领域

本发明涉及适用于进行具有质量的物质的有无检测、物质质量的检测等的检测