半导体设备行业研究：攻坚克难，国产量检测设备0~1突破精选版.docVIP

（：国金）

一、半导体制造端“标尺”把关良率，全球百亿美元市场空间广阔

1、半导体量/检测设备贯穿制造全流程，前道占比11%，全球百亿美元市场

半导体过程控制（量/检测）设备为集成电路生产过程中的核心设备之一，是保证芯片生产良品率的关键。集成电路制造过程的步骤繁多，工艺极其复杂，仅在集成电路前道制程中就有数百道工序。随着集成电路工艺节点的提高，制造工艺的步骤将不断增加，工艺中产生的致命缺陷数量也会随之增加，因此每一道工序的良品率都要保持在几乎“零缺陷”的极高水平才能保证最终芯片的良品率。量/检测设备主要用在晶圆制造和先进封装等环节，主要以光学和电子束等非接触式手段，针对光刻、刻蚀、