活塞以及真空泵.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102606447A

(43)申请公布日2012.07.25

(21)申请号CN201210003851.2

(22)申请日2012.01.06

(71)申请人ULVAC机工株式会社

地址日本宫崎县

(72)发明人糸山龙二长野元泰古贺裕明牧之濑泰裕

(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人蒋雅洁

(51)Int.CI

F04B39/00

F04B37/14

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

活塞以及真空泵

(57)摘要

本发明提供了一种可提高密封部件

的耐久寿命的活塞以及具有该活塞的真空

泵。本发明活塞(5)包括活塞主体(51)、密

封部件(52)、密封部件固定板(53)、紧固部

(54)。活塞主体(51)可往复地嵌插在气缸(6)

内，具有与往复方向垂直的第一面(51a)。

密封部件(52)安装于第一面(51)上，将气缸

(6)与活塞主体(51)之间密封。密封部件固

定板(53)具有与第一面(51a)相对且触接密

封部件(52)的第二面(53a)及第二面(53a)反

侧的第三面(53b)，第二面(53a)具有中央侧

的第一区域(A1)与边缘侧的第二区域

(A2)，第一区域(A1)以第一挤压力挤压密

封部件(52)，第二区域(A2)以比第一挤压力

大的第二挤压力挤压密封部件(52)。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种活塞，其特征在于，包括：

活塞主体，可往复嵌插在气缸内，具有与往复方向垂直的第一面；

密封部件，安装于该第一面，将该气缸与该活塞主体之间密封；

密封部件固定板，固定于该活塞主体上并在该密封部件固定板与该第一面

之间夹持该密封部件，且该密封部件固定板具有与该第一面相对且触接于该

密封部件的第二面及该第二面反侧的第三面，该第二面具有中央

侧的第一区域与边缘侧的第二区域，该第一区域以第一挤压力挤

压该密封部件，该第二区域以比该第一挤压力大的第二挤压力挤

压该密封部件；

紧固部，将该密封部件固定板紧固于该活塞主体上。

2.根据权利要求1所述的活塞，其特征在于：

所述第二面还具有形成在所述第一区域与所述第二区域之间，以比所述第

一挤压力小的第三挤压力挤压所述密封部件的第三区域。

3.根据权利要求1所述的活塞，其特征在于：

所述第二区域相比所述第一区域向所述第一面侧凸出；

所述第三区域相比该第一区域向所述第三面侧凹陷。

4.根据权利要求1所述的活塞，其特征在于：

所述紧固部是从所述密封部件固定板的中心向所述活塞主体插入的螺钉。

5.根据权利要求1所述的活塞，其特征在于：

所述密封部件是具有支撑部与唇缘部的杯型垫圈，该支撑部由所述第一面

与所述第二面夹持，该唇缘部设于该支撑部的边缘且触接于所述气缸。

6.根据权利要求1所述的活塞，其特征在于：

所述活塞在所述气缸内摇动运动。

7.一种真空泵，其特征在于，包括：

活塞，具有活塞主体、密封部件、密封部件固定板、紧固部；该活塞主体

可往复地嵌插在气缸内且具有与往复方向垂直的第一面；该密封部件安装于

该第一面上并将该气缸与该活塞主体

之间密封；该密封部件固定板固定于该活塞主体并在该密封部件

固定板与该第一面之间夹持该密封部件，且该密封部件固