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高温段工艺考试专项测试题附答案
1、我司硼扩散所用的源化学方程式为()[单选题]*
A、BCL3(正确答案)
B、B2O3
C、POCl3
D、P2O5
2、我司磷扩散所用的源化学方程式为()(2分)[单选题]*
A、BCL3
B、B2O3
C、POCl3(正确答案)
P2O5
3、硼扩散后需要监控的工艺控制项为()[单选题]*
A、方块电阻和不均性(正确答案)
B.、膜厚和折射率
C、减重和反射率
线高和线宽
4、LPCVD镀本征硅所用的特气为()[单选题]*
A、丁烷
B、硅烷(正确答案)
C、甲烷
D、乙烷
5、后氧化BSG厚度需要做多少nm以上()[单选题]
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