一种光学零件几何参数非接触测量方法及其测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101922919A

(43)申请公布日2010.12.22

(21)申请号CN201010273721.1

(22)申请日2010.09.07

(71)申请人西安工业大学

地址710032陕西省西安市金花北路4号

(72)发明人梁海锋刘缠牢

(74)专利代理机构西安新思维专利商标事务所有限公司

代理人黄秦芳

(51)Int.CI

G01B11/02

G01B11/06

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种光学零件几何参数非接触测量

方法及其测量装置

(57)摘要

本发明属于一种几何量的非接触光

学测量领域，具体是一种光学零件几何参

数非接触测量方法及其测量装置。本发明

要克服现有技术存在的速度慢，测量动态

范围小，成本昂贵，不适用于在线快速测

量的问题。为了克服现有技术存在的问

题，本发明提供的技术方案是：一种光学

零件几何参数非接触测量方法：对平行光

进行电扫描光开关的调制，形成环带状平

行光，经锥透镜(螺纹透镜)会聚实现不同

距离的会聚点，利用会聚点瞄准并识别光

学零件的表面，从而实现对光学零件几何

厚度、移动距离以及光学透镜中心高的测

量。本发明具有以下优点：成本低，稳定

性好，适合快速在线测量，可以实现比光

谱扫描类仪器大的测量动态范围，同时仪

器结构简单，容易加工。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2010-12-22公开公开

权利要求说明书

1.一种光学零件几何参数非接触测量方法：是对平行光进行电扫描光开关的调制，

形成环带状平行光，经锥透镜(螺纹透镜)会聚实现不同距离的会聚点，利用会聚点

瞄准并识别光学零件的表面，从而实现对光学零件几何厚度、移动距离以及光学透

镜中心高的测量。

2.如权利要求1所述的一种光学零件厚度的非接触测量方法，其特征在于：通过计

算和控制单元控制光开关驱动来驱动光开关形成直径依次缩小/增大的透过带，则

经过光开关得平行光形成环带状平行光，那么通过透镜后的会聚点沿光轴方向依次

向后/向前移动，当会聚点分别瞄准零件的上、下表面时，光路对称原路返回，探

测器上两次出现能量峰值，两次出现峰值一一对应于不同的环状光带的半径，那么

待测光学平板零件的几何厚度按照下式计算：

mathsmathmrowmid/mimo=/momfracmrowmrowmo(/m

omsubmiR/mimn2/mn/msubmo-

/momsubmiR/mimn1/mn/msubmo)/mo/mrowmoCenter

Dot;/momicos/mimrowmo(/momiarcsin/mimfracmrowmsu

bmin/mimic/mi/msubmisin/mimitheta;/mi/mrowmsub

min/mimn0/mn/msub/mfracmo)/mo/mrow/mrowmrowmi

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msubmin/mimn0/mn/msubmisin/mimrowmo(/momiarc

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