实现压电自感知执行器的空分复用解耦方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1570544A

(43)申请公布日2005.01.26

(21)申请号CN200410020496.5

(22)申请日2004.04.29

(71)申请人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

(72)发明人董维杰王旭东李涵

(74)专利代理机构大连理工大学专利中心

代理人侯明远

(51)Int.CI

G01B7/16

G01L1/16

H01L41/04

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

实现压电自感知执行器的空分复用

解耦方法

(57)摘要

本发明属于测控技术领域，涉及到

压电传感器与压电执行器的集成方法。其

特征为：在一片压电陶瓷/晶体上同时使用

正、逆压电效应，通过空分复用解耦方法

实现压电自感知执行器。压电陶瓷/晶体的

下电极面作公共地电极，将上电极面分割

成两组，一组作执行电极，另一组作传感

电极。在执行电极和地电极之间施加交流

驱动电压，用来产生动态位移、速度或驱

动力；将传感电极和地电极之间虚短路，

利用超低偏流运算放大器测量短路电流，

获得执行器及其机械结构的速度。本发明

的优点是：技术实现方便，避免了电桥解

耦法中电桥不易平衡的缺点；可实现真正

的同位控制、提高控制稳定性；易于减小

机电系统重量和体积、有利于促进机电系

统的集成化和微型化。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.实现压电自感知执行器的空分复用解耦方法，其特征是：

a)空分复用解耦法实现的压电自感知执行器系统包括空分复用的压电自感知执行器

(1)、执行器驱动电源电路(2)和传感器短路电流测量电路(3)；

b)压电自感知执行器(1)由压电陶瓷/晶体(4)、地电极(5)、传感电极(6)、执行电极(7)、

电极接线板8组成；传感电极6和执行电极7交错排列；地电极(5)、传感电极(6)

和执行电极(7)的引线接到电极接线板(8)上；电极接线板(8)固定在压电自感知执行

器外封装上，地电极(5)接地；

c)短路电流测量电路(4)由集成运算放大器ICsub1/sub、电阻Rsub1/sub、

Rsub2/sub、Rsub3/sub、直流电源+Vcc、-Vcc组成，ICsub1/sub的

正电源端接+Vcc；ICsub1/sub的负电源端接-Vcc；ICsub1/sub的反相输入

端通过接线板(2)接传感电极(6)，ICsub1/sub的同相输入端接地；

ICsub1/sub的同相输入端和反相输入端用屏蔽环屏蔽后接地，空脚8接到屏蔽

环上；Rsub1/sub的一端接ICsub1/sub的反相输入端，Rsub1/sub的

另一端接电阻Rsub2/sub和Rsub3/sub；Rsub2/sub的一端接

Rsub1/sub和Rsub3/sub，Rsub2/sub的另一端接ICsub1/sub的输

出端；Rsub3/sub的一端接Rsub1/sub和Rsub2/sub，Rsub3/sub

的另一端接地。

2.根据权利要求1所述的实现压电自感知执行器的空分复用解耦方法，其特征在于：

传感电极(6)和执行电极(7)为叉指形交叉排列、回字型或环形相间排列、或通过引

入绝缘感应层(9)实现传感电极(6)和执行电极(7)在空间上对压电陶瓷/晶体(4)的完全

重合复用。

3.根据权利要求1、2所述的实现压电自感知执行器的空分复用解耦方法，其特征

在于：通过采取将传感电极(6)与地电极(5)短路的办法消除静电干扰；利用超低偏

流集成运算放大器OPA129输入端虚短路和虚断路特点测量短路电流。

说明书

技术领域

本发明属于