光刻机工件台定位平台结构设计.pdfVIP

摘要：针对工件台易受到微小震动而引起图像偏差的问题，对工

件台定位平台的结构进行了优化设计，同时改进了工作台的调节方式，

对今后光刻机工件台的研究与改进具有良好的借鉴意义。

关键词：光刻机；定位台；三轴联动

0引言

本文针对光刻机自动修改定位存在误差的问题，以光刻机工件台定

位平台为研究对象，以接触式光刻理论、1:1全反射投影光刻技术、反

射投影技术、电子光刻技术等作为理论与技术支撑，在此基础上完成了

光刻机工件台定位平台的结构设计。结合测量反馈系统，本设计主要完

成了对光刻机普通定位平台的优化，优化部件及定位部件的设计、组装；

文件格式的转换和零件与定位部件实体逻辑位置的装配。同时从精度、

运动方式等方面，将本文设计的光刻机工件台定位平台与市面上成熟的

产品进行比较，完成了定位平台的结构三维图设计。

1基本理论

根据对各定位理论的归纳与了解可知，光刻机定位精度取决于光刻

机中的像差和层之间的配准精度，基于此，本设计根据要求改善了定位

部件的设计、组装以及零件与定位部件的装配，完成了定位平台的三维

结构设计以及六自由度平台结构设计，再通过计算机图形技术和3D仿

真设计、3D仿真平台，得到定位部件的最优设计方案。

2定位平台的三维结构设计

2.1定位平台的“331”原则

2.1.1“331”原则

“33l”原则内容如下：

（1）设置三维测量系统的X、Y、Z轴标准尺寸线或其延长线相互

垂直并相交于一交点上，以这三轴测量线为基准建立三维坐标系。

（2）设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面

与X、Y轴标准尺寸线所构成的测量面重合，从而建立两个运动面与一

个测量面这三面共面的测量平台。

（3）设置测头中心点与三条标准尺寸线或其延长线的交点重合。

完成上述工作后，锁定三轴标尺与测头的相对位置，建立三维测量系统。

2.1.2总体结构设计方案

定位平台整体结构布局示意图如图1所示，设置X轴驱动系统和X

向测量系统与X向工作台固定，Y轴驱动系统和Y向测量系统与Y向工

作台固定，并通过Y向导轨与X向工作台连接，Z向工作台通过Z向导

轨与Y向工作台连接，且Z向工作台与水平面相互垂直。测量和定位由

激光测量系统执行。基站和Y向驱动系统都固定连接到X向工作台，同

时基础平台还需要设置能测量位移的激光器，并且Z向工作台需要具有

与激光器连接的反射目标镜。三维定位平台的部件包括框架系统、导轨、

平衡部分、驱动系统和激光干涉仪系统。

2.2定位工作台的详细结构设计

基于设计和结构要求，对定位工作台三维结构进行设计。方案设计

流程如下：

2.2.1Z向定位工作台设计

从结构设计的角度来看，有必要采取措施确保引导线、测量线和驱

动线在同一方向上。通过设定驱动框架和电动框架的精度，可以确保引

导线和驱动线的方向一致。通过调节Z向目标透镜的调整机构，可以确

保引导线和测量线对准，以此实现Z向定位台的并联设计。

2.2.2三维定位工作台的结构优化设计

本设计利用“331”原则设计并优化了定位平台的基本结构，通过

同步电机偏心安装、磁流变液阻尼器和配重设计、工作台结构参数优化

设计，实现了电机驱动时定子和转子的相对径向位移不超过0.1mm、工

作台平稳移动和驱动电机负载稳定。图2为工作台X向受力分析示意图。

3六自由度平台结构设计

3.1六自由度平台机构概述

六自由度平台主要由上下平台、电动缸和铰链组成。伺服电动缸通

过铰链以并联的形式将固定底座和运动平台连接起来，因而6个伺服电

动缸均可独立伸缩。通过6个伺服电动缸的协调伸缩，相对于固定的下

平台，运动上平台就可以灵活实现空间6个自由度方向上的位姿运动。

为了获得六自由度平台的空间位置关系，首先建立动态坐标系以及

静态坐标系，即