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LIGA工艺中微电铸工艺争论
马龙;周月豪;熊良才;柳海鹏;史铁林
【摘要】为了得到微米级的微型构造,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔构造,并以此和光刻成型的微构造作为模具,进展了微电铸试验,通过对电镀参数方法进展调整和优化,改善了微构造加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严峻、结晶粒子不能得到准时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型构造.为进一步的微构造加工奠定了根底.
【期刊名称】《激光技术》
【年(卷),期】2023(030)001
【总页数】3页(P47-49)
【关键词】微电铸;LIGA;准分子激光;PMMA
【作者】马龙;周月豪;熊良才;
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