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DOE试验设计开发高效的光刻胶剥离液
杨志锋;王翔;王旭
【期刊名称】《《丽水学院学报》》
【年(卷),期】2023(041)005
【总页数】6页(P16-21)
【关键词】试验设计;混料试验;光刻胶;剥离液
【作者】杨志锋;王翔;王旭
【作者单位】西陇科学股份广东汕头515064;南京江宁高等职业技术学校江苏南京210019;丽水学院生态学院浙江丽水323000
【正文语种】中文
【中图分类】O644.14
光刻工艺是精细图案制作的关键制程,其包含镀膜、光刻胶涂覆、显影、蚀刻、光刻胶剥离等过程。剥离的作用是指在选择性地进展蚀刻,形成微细电路后,
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