DW技术全面替换传统砂浆切割工艺研究和展望.docx

DW技术全面替换传统砂浆切割工艺研究和展望.docx

  1. 1、本文档共9页,其中可免费阅读4页,需付费120金币后方可阅读剩余内容。
  2. 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
  3. 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  4. 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多

DW技术全面替换传统砂浆切割工艺争论和展望

赵雷;吴学宾

【摘要】DW技术(DiamondWire,金刚线切割技术)是一种兴的、高效率的硅片生产技术,通过对传统砂浆切割技术与兴DW切割技术的切削微观原理的比照分析以及两种切割技术下硅片的外表质量差异、本钱差异、效率差异等分析,推断今后几年硅片生产的主流切片技术方向,明确了DW技术优势及进展前景.

【期刊名称】《电子工业专用设备》

【年(卷),期】2023(000)003

【总页数】7页(P13-19)

【关键词】金刚线切割技术;摩擦学;制绒;细线化;出片率

【作者】赵雷;吴学宾

【作者单位】中国电子科技集团公司第四十五争论所

文档评论(0)

夜~紫儿 + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档