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DW技术全面替换传统砂浆切割工艺争论和展望
赵雷;吴学宾
【摘要】DW技术(DiamondWire,金刚线切割技术)是一种兴的、高效率的硅片生产技术,通过对传统砂浆切割技术与兴DW切割技术的切削微观原理的比照分析以及两种切割技术下硅片的外表质量差异、本钱差异、效率差异等分析,推断今后几年硅片生产的主流切片技术方向,明确了DW技术优势及进展前景.
【期刊名称】《电子工业专用设备》
【年(卷),期】2023(000)003
【总页数】7页(P13-19)
【关键词】金刚线切割技术;摩擦学;制绒;细线化;出片率
【作者】赵雷;吴学宾
【作者单位】中国电子科技集团公司第四十五争论所
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