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光伏制造工艺和设备介绍
MOCVD
(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)
金属有机化学气相沉积
;1.什么是MOCVD?;2.太阳能电池的制备工艺;ZnO的作用;ZnO性能;ZnO性能;MOCVD原理;ZnO的制备;气源;MOCVD系统原理图;沉积室;12;DEZ和H2O气路管布局图;MOCVD设备外观图;15;16;DEZ性质;18;对厂房设计、安全要放在首位。一般厂房分为两层,2楼主要放氮气管、氨气管、空调、排风。1楼放DEZ;DEZ房;;;23;24;DEZ房要求:;26;DEZ气罐更换;28;
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