【英语版】国际标准 ISO/TS 22933:2022 EN 表面化学分析 二次离子质谱法 测量 SIMS 质量分辨率的方法 Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS.pdf
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- 2024-07-11 发布于四川
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ISO/TS22933:2022ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—MethodforthemeasurementofmassresolutioninSIMS是关于表面化学分析的ISO/TS标准,具体来说,它涉及到二次离子质谱术(SIMS)中质量分辨率的测量方法。
二次离子质谱术(SIMS)是一种用于表面化学分析的现代分析技术,它通过用高能离子(通常是次级离子)轰击样品表面,产生二次离子,并测量这些离子的质荷比来进行分析。这种技术可以提供有关样品表面化学组成、结构和深层次信息,广泛应用于材料科学、化学、生物学、医学和环境科学等领域。
在这个标准中,规定了用于测量SIMS中质量分辨率的方法和步骤。质量分辨率是指两个能被明显区分开的同质离子在SIMS中的最小分辨率。通过这种方法,可以评估SIMS设备的性能和精度,并确定其是否适合特定的应用。
具体来说,该标准包括以下内容:
*实验准备,包括样品准备、离子源和检测器的选择和设置等。
*实验过程,包括离子束轰击样品的条件、收集和分析二次离子的方法等。
*数据处理和分析,包括对测量数据进行分析和处理,以确定质量分辨率。
ISO/TS22933:2022ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—MethodforthemeasurementofmassresolutioninSIMS提供了一种用于测量SIMS中质量分辨率的详细方法,对于评估SIMS设备的性能和精度以及确定其适用性非常重要。
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