《IC级高精度倒装装片机》（征求意见稿）.docxVIP

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IC级高精度倒装装片机

1范围

本文件规定了IC级高精度倒装装片机的基本参数、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。

本文件适用于IC级高精度倒装装片机（以下简称装片机）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T5226.1-2019机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T9969工业产品使用说明书总则

GB/T13306标牌

GB/T17248.3声学机器和设备发射的噪声采用近似环境修正测定工作位置和其他指定位置的发射声压级

GB50073-2013洁净厂房设计规范

3术语和定义

GB/T14113界定的术语和定义适用于本文件。

4基本参数

IC级高精度倒装装片机基本参数见表1。

表1基本参数

项目

参数

芯片尺寸/mil

6～400

芯片厚度/μm

75～1000

加工晶圆尺寸/

8/12

装片机尺寸/mm

长度

2200

宽度

1450

厚度

1450

引线框架尺寸/mm

长度

110～300

宽度

50～100

厚度

0.1～0.7

5工作条件

5.1洁净度

应符合GB50073-2013第3章中空气洁净度等级优于2级（含2级）的规定。

5.2相对湿度

应保持在30%～70%范围内。

5.3环境温度

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应保持在20℃~27℃范围内。

5.4电源要求

AC电源电压应保持在220V±10%范围内，频率应保持在50Hz±2%范围内。

5.5压缩空气压力及流量

压力应不小于0.4MPa，流量应不超过400L/min，压缩空气应保持干燥。

5.6真空压力

应保持在﹣80kPa。

6技术要求

6.1外观

6.1.1产品表面应无图样未规定的凸起、凹陷、粗糙不平和其他损伤等缺陷。

6.1.2油漆表面应平整、均匀、光滑，不应有漏漆、起皱、流挂、剥离、锈蚀和锈痕等缺陷。

6.2上料机构

应符合下列规定：

a)无料盒时具有报警功能；

b)具有上料架与料盒双上料模式切换功能；

c)框架隔纸分离功能，能够有效识别纸和框架；

d)具有引线框架方向检测和引线框架重叠检测功能；

e)具有轨道宽度和步进节距可编程功能；

f)采用多重精准定位的轨道进料传感器，传送微曲变形框架/基板到预设步进位置。

6.3下料机构

应符合下列规定：

a)料盒能自动升降，自动更换；

b)无料盒或料盒满载时具有报警功能。

6.4控制功能

6.4.1应具有晶圆图取片功能，支持SECS/GEM联网协议。

6.4.2应包括统计加工总数、统计各类故障等统计功能。

6.4.3应具有日志记录功能。

6.4.4应具有意外断电数据自动保护功能。

6.4.5应具有故障自诊断显示功能，能够显示故障位置；应具有各个感应器位置故障显示。

6.4.6在维修模式下应具有单个机构的强制动作功能，手动、半自动或全自动运行时，所有机构应自动复位。

6.4.7应按照不同的用户设定不同的权限，按功能类别设置权限可修改参数。

6.4.8传输的动作和状态异常时应具有报警停机功能。

6.4.9应具有芯片角度校正功能。

6.4.10应具有单/多枚顶针系统，单顶针与多顶针能够互换。

6.5安全要求

6.5.1电气部分应符合下列规定：

a)绝缘电阻符合GB/T5226.1-2019中18.3的规定；

b)保护联结电路的连续性符合GB/T5226.1-2019中8.2的规定；

c)警告标志符合GB/T5226.1-2019中第16章的规定；

d)引入电源线端接法和切断开关符合GB/T5226.1-2019中第5章的规定；

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e)紧急停止符合GB/T5226.1-2019中9.2.3.4的规定。

6.5.2安全防护应符合下列规定：

a)配备过电流保护装置；

b)设备具有急停保护按钮；

c)具有故障报警指示灯；

d)设备工作中，如防护盖突然被打开，设备自动变为停机状态；

e)各电机轴设置安全限位，防止设备动作异常时发生危险事故。

6.6图像识别系统

应符合表2的规定。

表2图像识别系统

项目

要求

灰阶度

256级灰度