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传感器原理及工程应用第5章电容式传感器

传感器输出特性C=f(d)不是线性关系,而是双曲线关系。

变极距电容传感器只在Δd/d很小时,才有近似线性输出

0

在d小时,同样的Δd变化引起

0

的ΔC大,传感器灵敏度高。

ed

gg

e

0d

0

采用高介电常

数的材料时

云母片相对介电常数是空气7倍,击穿电压为空气的333倍。

且(d/εε)恒定,使传感器输出特性的线性度改善

g0g

变极距电容式传感器起始电容在20～100pF,极距在25

200μm,最大位移应小于间距的1/10,用于微位移测量。

传感器原理及工程应用第5章电容式传感器

5.1.2变面积型电容式传感器a

变面积型电容传感器原理结构示意图。Dxd

b

S

传感器其电容量C与水

x

平位移Δx是线性关系

电容式角位移传感器原理图.q

当θ=0时:C=εεpS/d=εεpr/d

00r00r

灵敏传感器的电容量C与θ呈线性关系。

度为

传感器原理及工程应用第5章电容式传感器

5.1.3变介质型电容式传感器

左图是一种测量液位高低的变极板

间介质的电容式传感器结构原理图

设被测介质介电常数为ε1,空气为ε0

,液面高度为h,总高度为H,内筒外径

为d,外筒内径为D,变换器电容值为

灵敏度为

电容增量正比于被测液位高度h。

传感器原理及工程应用第5章电容式传感器

变介质型电容传感器可测厚度,也可测非导电固体湿度

图示一种常用的结构型式。相对介电常数为ε的电介质

r2

传感器总电容量C为

若电介质ε=1,当L=0时,传

r1

感器初始电容C=εLb/d

00000

介质进入极间L

电容的相对变化为

灵敏度为

电容的变化与电介质ε的移动量L呈线性关系。