(高清版)-B-T 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法.pdfVIP

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

GB/T42158—2023/IEC62047-26:2016

微机电系统(MEMS)技术微沟槽和

棱锥式针结构的描述和测量方法

Micro-electromechanicalsystemstechnology(MEMS)—Descriptionand

measurementmethodsformicrotrenchandpyramidalneedlestructures

(IEC62047-26:2016,Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

Part26:Descriptionandmeasurementmethodsformicrotrenchandneedle

structures,IDT)

2023-03-17发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T42158—2023/IEC62047-26:2016

目次

前言Ⅲ

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4微米尺度沟槽结构的描述1

4.1概述1

4.2符号和名称2

4.3说明3

5微米尺度棱锥式针结构的描述3

5.1概述3

5.2符号和名称4

5.3说明5

6测量方法5

附录A(资料性)微米尺度沟槽和棱锥式针结构的测量示例6

附录B(资料性)尺寸测量不确定度18

参考文献20

I

GB/T42158—2023/IEC62047-26:2016

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件等同采用IEC62047-26:2016《半导体器件微机电器件第26部分：微沟槽和针结构的描

述和测量方法》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动：

——为进一步明确标准的适用领域，将“针结构”修改为“棱锥式针结构”,为与现有标准协调，将标

准名称改为《微机电系统(MEMS)技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》:

——纠正了IEC62047-26:2016原文的错误：为了清晰地显示样品的横截面，将A.2.1.2中“如4.2

的表1所示”更改为“如图1所示”,4.2的表1并未给出样品横截面图。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构