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光学显微分析演示文稿
在是1\一共有25\于星期五
光学显微分析
在是2\一共有25\于星期五
2.1材料形貌分析简介
2.1材料形貌分析简介
l物体的表面是物质存在的一种客观形式,固体从体相延伸到表面,最
终在表面形成原子及其电子分布的终端,从而导致表面具有体
相所不具备的新的特点和新的特征。同时也破坏了物体的连续性。
因此研究物体的表面比研究物体的体相有更大的难度。
l在表面分析中,由于表面层的光学干涉、表面缺陷、粒度大小等表面
变化为微观变化,实测结果往往与常规观察的判断有很大的区别。
l材料的形貌也是材料分析的重要组成部分,主要分析材料的几何
形貌,材料的颗粒度以及颗粒度的分布等方面。
l光学显微镜和电子显微镜(扫描电子显微镜SEM;透射电子显微镜TEM;
扫描隧道显微镜STM;原子力显微镜AFM)
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人眼:0.2mm/250mm
光学显微镜:0.2um
2.2基本知识(几个重要的分辨率)电子显微镜:0.2nm
2.2基本知识(
l人眼:通常在25cm的明视距离内,人眼只能分辨相距的两个物体。
即物体相距不到0.1mm的时候,人眼就会把它们看成是一个物体。这个
极限即为人眼的分辨本领。
l显微镜的分辩本领:z=0.61×λ/(nsinα),显微镜的分辩本领与
光的波长成正比。光的波长越长,其分辨率越低。只有采用比较
短的波长的光线,才能获得较高的放大倍数。
l光学显微镜:由于可见光波的波长在500nm左右,其衍射效应使得光学
显微镜的分辨本领不能小于200nm。
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l电子显微镜:电子波λ=(1.50/E)nm。当加速电压为100kV时,电子的
波长仅为0.0037nm;当E=30KeV时,λ≈0.007nm。电子显微镜可以获
得很好的高分辨率图像,0.2-0.5nm.
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2.3几种常用显微镜的工作原理
2.3几种常用显微镜的工作原理
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基本原理
SEM是利用聚焦电子束在样品上扫描时激发的某种物理信号来调制
一个同步扫描的显象管在相应位置的亮度而成象的显微镜。
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三种显微镜比较
三种显微镜比较
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分辨率影响因素
分辨率影响因素
l由于电子束的波长很短,理论上电镜可以达到很高
的分辨率;
l在光学显微镜中决定分辨率的是光的波长,象差不是
主要原因;
l在电子显微镜中,波长已经不是决定性因素;
而透镜产生的象散和球差,电子波产生的色差和衍
射差是主要因素;
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2.4光学显微分析的发展
l15世纪中叶:放大镜(单式显微镜)
l1590年荷兰HansandZachariasJanssen:复式显微镜
l17世纪中叶R.Hooke:设计第一台性能较好的显微镜
lChristiaanHuy
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