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洁净室高纯水制备流程图
一、概述
洁净室高纯水制备流程是现代化工业生产中不可或缺的一个环节
,特别是在半导体、医药、电子等领域,对水质的要求极高。高纯水
,又称为超纯水,指的是水中杂质含量极低,电阻率极高的水。本文
将详细介绍洁净室高纯水制备的流程,以及各个环节的关键技术和设
备。
二、原水处理
原水处理是高纯水制备的第一步,目的是去除水中的悬浮物、胶
体、有机物等杂质。原水处理主要包括以下几个步骤:
1.混凝沉淀:向原水中加入混凝剂,使水中的悬浮物和胶体颗粒凝
聚成较大的絮体,然后通过沉淀去除。
2.沙滤:将经过混凝沉淀处理的水通过沙滤罐,进一步去除水中的
悬浮物和胶体颗粒。
3.活性炭吸附:利用活性炭的吸附作用,去除水中的有机物和异味
。
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4.软化:通过离子交换树脂,去除水中的钙、镁离子,降低水的硬
度。
三、预处理
预处理是高纯水制备的关键步骤,主要包括以下几个环节:
1.微滤:采用微滤膜,去除水中的细菌、病毒等微生物。
2.超滤:采用超滤膜,进一步去除水中的小分子有机物和部分离子
。
3.反渗透:利用反渗透膜,去除水中的大部分离子和有机物,得到
纯水。
四、深度处理
深度处理是高纯水制备的一步,目的是进一步提高水的纯度,主
要包括以下几个环节:
1.纳滤:采用纳滤膜,去除水中的部分离子和有机物。
2.混床离子交换:采用混床离子交换树脂,去除水中的残余离子。
3.EDI(电去离子):利用电场作用,去除水中的残余离子,得到
高纯水。
五、存储与分
2
高纯水制备完成后,需要储存在专门的储罐中,并通过分配系统
输送到各个使用点。在存储和分配过程中,要严格控制水质,避免二
次污染。
六、水质检测与监控
在整个高纯水制备过程中,需要对水质进行实时检测和监控,确
保水质符合要求。常用的水质检测项目包括电阻率、TOC(总有机碳
)、细菌总数等。
七、结论
洁净室高纯水制备流程是现代化工业生产中至关重要的一环。通
过对原水进行处理、预处理、深度处理以及存储与分配,最终得到符
合要求的高纯水。在整个制备过程中,要严格控制水质,避免二次污
染,确保高纯水的质量和安全。
在洁净室高纯水制备流程中,深度处理环节是需要重点关注的,
因为这一环节直接关系到最终水质是否能够达到高纯度的要求。深度
处理包括纳滤、混床离子交换和EDI(电去离子)三个关键步骤,它们
对水中的离子和有机物的去除起到了至关重要的作用。
一、纳滤(Nanofiltration)
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纳滤是一种介于反渗透和超滤之间的膜分离技术,它能够去除相
对分子质量在几百左右的分子和离子。纳滤膜具有以下特点:
1.孔径大小:纳滤膜的孔径大约在1纳米左右,介于超滤膜(约
0.01微米)和反渗透膜(约0.1纳米)之间。
2.渗透压:纳滤膜对水的渗透压较低,这意味着在相同的操作压力
下,纳滤膜的水通量要高于反渗透膜。
3.分离效果:纳滤膜能够去除水中的多价离子(如硫酸盐、钙镁离
子等),但对于单价离子(如钠离子、氯离子等)的去除效果较差。
4.应用:在洁净室高纯水制备中,纳滤通常用于反渗透之后的预处
理,以进一步降低水的硬度,减轻后续混床离子交换和EDI的负担。
二、混床离子交换(MixedBedIonExchange)
混床离子交换是利用阴阳离子交换树脂按一定比例混合填充在一
个交换柱中,去除水中的离子。混床离子交换的特点如下:
1.填充比例:通常阴树脂和阳树脂的填充比例约为1:1,这样可以
同时去除水中的阳离子和阴离子。
2.树脂类型:混床离子交换树脂通常使用强酸强碱型树脂,以保证
交换效果。
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3.操作周期:混床离子交换的操作周期相对较短,因为树脂的交换
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