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洁净室高纯水制备流程图

一、概述

洁净室高纯水制备流程是现代化工业生产中不可或缺的一个环节

，特别是在半导体、医药、电子等领域，对水质的要求极高。高纯水

，又称为超纯水，指的是水中杂质含量极低，电阻率极高的水。本文

将详细介绍洁净室高纯水制备的流程，以及各个环节的关键技术和设

备。

二、原水处理

原水处理是高纯水制备的第一步，目的是去除水中的悬浮物、胶

体、有机物等杂质。原水处理主要包括以下几个步骤：

1.混凝沉淀：向原水中加入混凝剂，使水中的悬浮物和胶体颗粒凝

聚成较大的絮体，然后通过沉淀去除。

2.沙滤：将经过混凝沉淀处理的水通过沙滤罐，进一步去除水中的

悬浮物和胶体颗粒。

3.活性炭吸附：利用活性炭的吸附作用，去除水中的有机物和异味

。

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4.软化：通过离子交换树脂，去除水中的钙、镁离子，降低水的硬

度。

三、预处理

预处理是高纯水制备的关键步骤，主要包括以下几个环节：

1.微滤：采用微滤膜，去除水中的细菌、病毒等微生物。

2.超滤：采用超滤膜，进一步去除水中的小分子有机物和部分离子

。

3.反渗透：利用反渗透膜，去除水中的大部分离子和有机物，得到

纯水。

四、深度处理

深度处理是高纯水制备的一步，目的是进一步提高水的纯度，主

要包括以下几个环节：

1.纳滤：采用纳滤膜，去除水中的部分离子和有机物。

2.混床离子交换：采用混床离子交换树脂，去除水中的残余离子。

3.EDI（电去离子）：利用电场作用，去除水中的残余离子，得到

高纯水。

五、存储与分

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高纯水制备完成后，需要储存在专门的储罐中，并通过分配系统

输送到各个使用点。在存储和分配过程中，要严格控制水质，避免二

次污染。

六、水质检测与监控

在整个高纯水制备过程中，需要对水质进行实时检测和监控，确

保水质符合要求。常用的水质检测项目包括电阻率、TOC（总有机碳

）、细菌总数等。

七、结论

洁净室高纯水制备流程是现代化工业生产中至关重要的一环。通

过对原水进行处理、预处理、深度处理以及存储与分配，最终得到符

合要求的高纯水。在整个制备过程中，要严格控制水质，避免二次污

染，确保高纯水的质量和安全。

在洁净室高纯水制备流程中，深度处理环节是需要重点关注的，

因为这一环节直接关系到最终水质是否能够达到高纯度的要求。深度

处理包括纳滤、混床离子交换和EDI（电去离子）三个关键步骤，它们

对水中的离子和有机物的去除起到了至关重要的作用。

一、纳滤（Nanofiltration）

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纳滤是一种介于反渗透和超滤之间的膜分离技术，它能够去除相

对分子质量在几百左右的分子和离子。纳滤膜具有以下特点：

1.孔径大小：纳滤膜的孔径大约在1纳米左右，介于超滤膜（约

0.01微米）和反渗透膜（约0.1纳米）之间。

2.渗透压：纳滤膜对水的渗透压较低，这意味着在相同的操作压力

下，纳滤膜的水通量要高于反渗透膜。

3.分离效果：纳滤膜能够去除水中的多价离子（如硫酸盐、钙镁离

子等），但对于单价离子（如钠离子、氯离子等）的去除效果较差。

4.应用：在洁净室高纯水制备中，纳滤通常用于反渗透之后的预处

理，以进一步降低水的硬度，减轻后续混床离子交换和EDI的负担。

二、混床离子交换（MixedBedIonExchange）

混床离子交换是利用阴阳离子交换树脂按一定比例混合填充在一

个交换柱中，去除水中的离子。混床离子交换的特点如下：

1.填充比例：通常阴树脂和阳树脂的填充比例约为1:1，这样可以

同时去除水中的阳离子和阴离子。

2.树脂类型：混床离子交换树脂通常使用强酸强碱型树脂，以保证

交换效果。

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3.操作周期：混床离子交换的操作周期相对较短，因为树脂的交换