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压力传感器的现状与发展

摘要：叙述了压力传感器的发展历程，对其在国内外发展的趋势做了简要介绍，

并列举了典型的压力传感器及一些新型的压力传感器得结构、工作原理及应用。

关键词：压力传感器

1前言

传感器技术是当今世界令人瞩目且发展迅猛的高新技术之一，也是当代科学

技术发展的一个重要标志。无论是在工业生产领域，还是在日常的生活当中，每

一项技术都离不开传感器。美国早在80年代就声称世界已进入传感器时代，日本

则把传感器技术列为六大核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导和传感

器)之一。日本工商界人士声称“支配了传感器技术就能够支配新时代”。世界

技术发达国家对开发传感器技术都十分重视。我国早在20世纪60年代就开始涉足

传感器制造业，取得了较大的成绩。在“科学技术就是第一生产力”的思想的指

导下，各项科学技术取得了突飞猛进的发展，传感器技术也越来越受到各方面的

重视。在各类传感器中，压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、

成本低、便于集成化的优点，可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流

速、液位、压强的测量与控制。压力传感器已成为各类传感器技术最成熟、性能

比最高的一类传感器。

2国外传感器的发展现状

传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础，是现代科技的开路先锋。

美、日、英、法、德和独联体等国都把传感器技术列为国家重点开发关键技术之

一。美国长期安全和经济繁荣至关重要的22项技术中就有6项与传感器信息处理

技术直接相关。关于保护美国武器系统质量优势至关重要的关键技术，其中8项

为无源传感器。美国空军2000年举出15项有助于提高21世纪空军能力关键技术，

传感器技术名列第二。日本科学技术厅制定的90年代重点科研项目中有70个重点

课题，其中有18项是与传感器技术密切相关的。美国早在80年代初就成立了国家

技术小组(BTG)，帮助政府组织和领导各大公司参与国家企事业部门的传感器技

术开发工作。正是由于世界各国普遍重视和投入开发，传感器发展十分迅速。

3我国传感器的发展现状

目前，我国传感器行业规模较小，应用范围较窄。为此，我们亟须转变观念，

将传感器的研发由单一型传感器的研发，转化为高度集成的新型传感器研发。新

型传感器的开发和应用已成为现代系统的核心和关键，它将成为21世纪信息产业

新的经济增长点。改革开放30年来，我国传感器技术及其产业取得了长足进步，

主要表现在：建立了传感技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、国

家传感技术工程中心等研究开发基地；MEMS、MOEMS（微光机电系统）等研究项

目列入了国家高新技术发展重点；在“九五”国家重点科技攻关项目中，传感器

技术研究取得了51个品种86个规格新产品的成绩，初步建立了敏感元件与传感器

产业；2007年传感器业总产量达到20.93亿只，品种规格已有近6000种，并已在

国民经济各部门和国防建设中得到一定的应用。

4压力传感器的几种常用类型

下面着重对几种有代表意义的压力传感器的结构、工作原理、性能特点及其

新型传感器技术进行介绍，其中，电容式压力传感器是目前使用范围最广的一种

传感器。

4.1应变式压力传感器

应变式压力传感器是利用金属应变片的阻值随应力变形的原理进行工作的。

早期的应变片采用金属材料制造，应变片粘贴在压力膜片上感应压力变化。应变

式压力传感器的优点是结构简单，体积小，成本低廉，缺点是输出灵敏度低，迟

滞等指标较差。应变片通常用胶粘贴在弹性体上，但随着时间的推移，胶的老化

会对传感器的性能产生不可忽视的影响，因此没有得到广泛的应用。

4.2硅压阻压力传感器

半导体材料同金属材料相比，灵敏度要高出数十倍，这是由半导体材料的压

阻特性决定的。半导体材料的压阻特性还取决于掺杂浓度和晶体的排列方向。硅

材料具有极好的强度和机械特性，具有过压能力强、迟滞小等优点，采用硅膜片

可显著提高传感器的动态响应性能，并能降低对加速度的敏感性。硅压阻压力传

感器已经克服了应变式压力传感器的很多缺点，在压力传感器的技术上，人类科

学史上又迈进了一大步。

带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器是一种新型的硅压阻压力传感器。它的压

力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢

隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳

定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介

质的压力测量。

4.3陶瓷压力传感器

抗腐蚀