原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
晕燥援1
第1期中国氯碱
圆园19年1月悦澡蚤灶葬悦澡造燥则原粤造噪葬造蚤Jan.熏圆园1927
气相色谱法测定多晶硅生产中
氢化尾气组分含量
袁毛智慧袁陶明袁任国杨
杨红燕1袁21袁21袁21袁2
渊1.云南冶金云芯硅材股份有限公司袁云南曲靖655000曰
2.云南省光电子硅材料制备技术重点实验室袁云南曲靖655000冤
摘要院建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法遥采用双通道气相色谱仪袁
DB-1毛细管色谱柱进行分离袁用单丝热导检测器进行检测遥
关键词院气相色谱曰毛细管柱曰氢化尾气曰多晶硅
中图分类号院TQ075+.3文献标识码院B文章编号院员园园怨原员苑愿(2019)01-0027-04缘
Determinationofhydrogenatedtailgascomponentsin
polycrystallinesiliconproductionbygaschromatography
YANGHong-yan袁MAOZhi-hui袁TAOMing袁RENGuo-yang
1袁21袁21袁21袁2
渊1.YunnanMetallurgicalYunxinSiliconMaterialCo.,Ltd.,Qujing655000袁China曰
2.YunnanKeyLaboratoryofPhotoelectronSiliconMaterialPreparationTechnology袁Qujing655000袁China冤
Abstract：Agaschromatographicmethodforthedeterminationofhydrogenatedtailgasinpolycrystalline
siliconproductionwasestablished.Two-channelgaschromatographandDB-1capillarycolumnwereused
forseparationandsingle-wirethermalconductivitydetectorwasusedfordetection.
Keywords：gaschromatography；capillarycolumn；hydrogenatedtailgas；polycrystallinesilicon
三氯氢硅，样品不具代表性；二是尾
改良西门子法生产多晶硅的工艺中，降低后，氯硅烷组分冷凝
还原是核心工序，氢还原工序的好坏直接关系到气组分包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、
多晶硅产品质量、产量及生产成本。在生产过程中四氯化硅，因三氯氢硅、四氯化硅在常温常压下为液
生产1000t多晶硅，产生的副产物四氯化硅将达态，混合标准气体难于配制；三是氢气与其他4种
10000t。为了降低生产成本，搞好环境保护，将四氯
文档评论（0）