纳米加工技术讲解.pptVIP

纳米加工的关键技术纳米加工的关键技术2.环境控制扫描探针显微镜原理上讲比较简单，但是实际上要实现并不容易，需要解决一些关键技术：振动：一般地面震动是微米量级的，可是要产生稳定隧道电流，间距必须小于1nm，必须严格控制振动。噪声：产生的电流时纳安级别的，因此必须隔绝电子噪声。针尖：如果针尖很钝，就不可能探测到单个原子，达不到原子分辨率，所以针尖必须很尖。样品：样品必须为导体或者半导体，对于不导电的样品，也要在表面覆盖一层导电膜，对该导电膜也有很高的要求。另外还需要恒温、恒湿、超净环境来进行纳米加工。纳米加工的关键技术3.机床以及工具纳米加工对机床的要求有：?高精度，要求机床有高精度进给系统，实现无爬行的纳米级进给；有回转运动时，需要保证有纳米级回转精度。?高刚度，要求机床有足够高的刚度，保证工件和工具之间相对位置不受外力作用而改变。?高稳定性，要求设备在使用过程中应能长时间保持高精度，抗干扰、抗振动、高耐磨性。纳米加工的关键技术原子排列STM的针尖和样品之间存在范德华力和静电力两种力，调节针尖位置和所加偏压，可以改变力的大小和方向，从而诱导表面单个原子和分子完全脱离表面，或者在表面横向移动，使得表面原子按照一定规律排列。STM可以在吸附表面上进行直接刻写、诱导沉积、刻蚀，还可以对吸附表面上的吸附物质进行操作，从一处移到另一处，或者改变他们的性质。纳米加工与器件纳米加工与器件纳米算盘可虚假使用扫描隧道显微镜，对C60分子进行操纵，从而使得C60在其台阶上只能一个方向运动，从而得到类似中国古代算盘一样的器件，称之为纳米算盘。纳米加工与器件纳米电子器件以纳米技术制造的电子器件，其性能大大优于传统的电子器件：工作速度快，纳米电子器件的工作速度是硅器件的1000倍，因而可使产品性能大幅度提高。功耗低，纳米电子器件的功耗仅为硅器件的1/1000。信息存储量大，在一张不足巴掌大的5英寸光盘上，至少可以存储30个北京图书馆的全部藏书。体积小、重量轻，可使各类电子产品体积和重量大为减小。纳米加工与器件碳纳米管1991年日本NEC公司意外发现了由管状的同轴纳米管组成的碳分子,这就是碳纳米管。碳纳米管具有独特的拓扑结构，良好的导电性能，极高的机械强度等优异的光学、电学和机械性能，应用前景十分广泛。纳米加工与器件碳纳米管的性能力学性能：碳纳米管具有良好的力学性能，抗拉强度达到50～200GPa,是钢的100倍,密度却只有钢的1/6；它的弹性模量可达1TPa，与金刚石的弹性模量相当，约为钢的5倍。碳纳米管的硬度与金刚石相当，却拥有良好的柔韧性，可以拉伸。而碳纳米管的熔点也是目前已知材料中最高的。导电性能：碳纳米管具有良好的导电性能，由于碳纳米管的结构与石墨的片层结构相同，所以具有很好的电学性能。而且方向的不同，可以表现出不同的导电性。传热性能：碳纳米管一般具有非常大的长径比，因而其沿着长度方向的热交换性能很高，相对的其垂直方向的热交换性能较低，通过合适的取向，碳纳米管可以合成高各向异性的热传导材料。另外，碳纳米管有着较高的热导率，只要在复合材料中掺杂微量的碳纳米管,该复合材料的热导率将会可能得到很大的改善。纳米加工与器件碳纳米管的应用（1）作为扫描探针显微镜的探针 用碳纳米管作为探针型电子显微镜的探针，可以极大提高显微镜的分辨率，更好呈现物体的表面形态。（2）制备纳米电子器件 碳纳米管的尺寸，正好可以作为导线、开关盒记忆元件，应用与微电子器件利用碳纳米管的量子效应，在分子水平上对其进行设计和操作，推动传统电器器件的微型化。金属/半导体型碳纳米管皆具有二极管特性，可以作为最小半导体。纳米加工与器件纳米加工技术1.纳米加工技术简介2.纳米加工的关键技术3.纳米加工技术中的纳米器件4.纳米加工技术的应用纳米？1(nm):1毫米(mm)的百万分之一，头发的直径的万分之一。蛋白质、DNA、RNA、病毒，都在1~100nm的范围光合作用在“纳米车间”进行细胞中的一些结构单元都是执行某种功能的“纳米机械”，细胞象一个“纳米工厂”莲花荷叶出污泥而不染:“荷叶效应”纳米加工技术简介什么是纳米加工？纳米级精度的加工和纳米级表层的加工，即原子和分子的去除、搬迁和重组。是纳米技术主要内容之一。精度为3～O．3μm，粗糙度为O．3～O·03μm的叫精密加工；精度为0．3～0．03μm，粗糙度为0．03～0．005μm的叫超精密加工，或亚微米加工；精度为0．03μm（30纳米），粗糙度优于0．005μm以上的则称为纳米（nm）加工。纳米加工的实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除，切断原子间结合所需要的能量，必然要