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干式真空

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目录

干式真空泵及现状

1.往复式干泵3

2.爪式干泵.4

3.多级罗茨泵5

4.干式螺杆真空泵5

5.涡旋干泵.7

6.涡轮式干泵8

7.分子泵9

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干式真空泵及现状

干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过

15%。干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。

1.往复式干泵

往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空

泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸

入和排出气体。

往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操

作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉

尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。但这种泵

又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性

差，效率低等特点。往复式干泵最常见的就是