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超洁净磁悬浮泵

1范围

本文件规定了超洁净磁悬浮泵的型号、要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输和贮存等。

本文件适用于半导体制程用超洁净磁悬浮泵。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用

文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）

适用于本文件。

GB/T2900.1电工术语基础术语

GB/T2900.25电工术语旋转电机

GB/T3216-2016回转动力泵水力性能验收试验1级、2级和3级

GB/T3505产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

GB/T7021离心泵名词术语

GB/T11446.1电子级水

GB/T11446.8电子级水中有机碳的测试方法

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GB/T33634液体泵安全要求液体静压试验

GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则

GB/T39486化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则

JJG821总有机碳分析仪检定规程

3术语和定义

GB/T2900.1、GB/T2900.25及GB/T7021界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

超洁净磁悬浮泵ultra-cleanmagneticlevitationpump

利用电磁力将内嵌永磁体的叶轮悬浮于泵腔内，并驱动叶轮以非接触式电磁轴承方式旋转，过

流部件使用聚四氟乙烯（简称PTFE）或超纯可熔性聚四氟乙烯（简称PFA）材质制造，实现超洁净

流体泵送的超洁净离心泵。

注：“超洁净”或“超纯”系指泵过流部件污染物指标应符合附录A要求。

1

3.2

超纯水ultrapurewater（UPW）

经净化处理，25℃时在线电阻率大于等于18.2MΩ.cm，在线TOC小于1μg/L，细菌小于等于1

个/100ml，在线溶解氧小于等于10μg/L，金属Fe、Cu、Ni、K、Na合计小于25ng/L（其中Fe小于

5ng/L），其余金属小于10ng/L，其他指标符合GB/T11446.1中EW-1要求的水。

3.3

泵头pumphead

由泵体、叶轮、泵盖等组成的组件。

3.4

悬浮绕组suspendingwinding

对叶轮施加电磁力，使叶轮稳定悬浮于泵腔中的绕组。

3.5

驱动绕组drivewinding

在驱动工况下，当外部电能输入端子时，将输入电能转换成磁能并转换为机械能提供驱动力的

绕组。

3.6

表面粗糙度surfaceroughness

Ra

加工表面具有的波距1mm以下和微小峰谷的不平度，属于微观几何形状误差。工程上常用轮廓

算数平均偏差Ra表征表面微观不平度。

［来源：GB/T3505，有修改］

3.7

过流部件wetcomponents

设备或系统运行时与输送介质接触的零部件。

4泵结构、型号及参数

4.1泵结构

超洁净磁悬浮泵结构见图1，泵由电机、泵头和控制器系统（见图2、图3）组成。电机由定子

铁芯、驱动绕组、悬浮绕组、传感器及电机壳体等组成，泵头由泵体、带有永磁体的叶轮、泵盖等

组成，控制器系统由控制器及其附属元器件等构成。

2

图1超洁净磁悬浮泵结构图

介质入口

标准版

控制