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扩散培训
扩散培训
2011/07/23
2011/07/23
程春学/李皓山
程春学李皓山
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Ø1.光伏半导体基本知识
Ø1.光伏半导体基本知识
Ø2.扩散的目的
Ø2.扩散的目的
Ø3.扩散的原理
Ø3.扩散的原理
Ø扩散条件
Ø扩散条件
Ø扩散化学反应
Ø扩散化学反应
Ø4.扩散的工艺流程及异常处理
Ø4.扩散的工艺流程及异常处理
Ø5.方块电阻的测试
Ø5.方块电阻的测试
Ø6.影响扩散的因素
Ø6.影响扩散的因素
Ø7.扩散注意事项及安全
Ø7.扩散注意事项及安全
Ø换源要求
Ø换源要求
Ø石英管的清洗
Ø石英管的清洗
Ø卫生要求
Ø卫生要求
Ø化学品知识及安全措施
Ø化学品知识及安全措施
光伏半导体基本知识
光伏半导体基本知识
Ø晶体和硅
Ø晶体和硅
Ø晶体：晶体的重要特点是组成晶体的
Ø晶体：晶体的重要特点是组成晶体的
原子、分子、离子按一定规则周期排
原子、分子、离子按一定规则周期排
列着的。任一晶体都可以看成由微观
列着的。任一晶体都可以看成由微观
粒子在三维空间按一定规则周期重复
粒子在三维空间按一定规则周期重复
性排列所构成。晶体可以分为单晶体
性排列所构成。晶体可以分为单晶体
和多晶体。
和多晶体。
Ø晶格：晶体的周期性结构称为晶体格
Ø晶格：晶体的周期性结构称为晶体格
子，简称晶格。
子，简称晶格。
Ø单晶体：如果整个晶体是由单一的晶
Ø单晶体：如果整个晶体是由单一的晶
格连续组成，这种晶体称为单晶体。
格连续组成，这种晶体称为单晶体。
Ø多晶体：如果一个晶体是由相同结构
Ø多晶体：如果一个晶体是由相同结构
的很多小晶粒无规则地堆积而成，成
的很多小晶粒无规则地堆积而成，成
为多晶体。
为多晶体。
Ø半导体：电阻率介于金属和绝缘体之间并有负的电阻温度
Ø半导体：电阻率介于金属和绝缘体之间并有负的电阻温度
系数的物质。按化学成分可分为元素半导体和化合物半导
系数的物质。按化学成分可分为元素半导体和化合物半导
体。如硅和锗是最常见的元素半导体。元素半导体都是
体。如硅和锗是最常见的元素半导体。元素半导体都是
晶体。
晶体。
Ø半导体的特性：
Ø半导体的特性：
a)当受外界热和光的作用时，它的导电能力明显变化。
a)当受外界热和光的作用时，它的导电能力明显变化。
b)向纯净的半导体中掺入杂质，会使它的导电能力明显改变。
b)向纯净的半导体中掺入杂质，会使它的导电能力明显改变。
扩散就是向纯净的半导体中掺入杂质，以获得人们需要的导电性能。
扩散就是向纯净的半导体中掺入杂质，以获得人们需要的导电性能。
硅
硅
Ø硅是最常见的半导体，元Si
Ø硅是最常见的半导体，元
素周期表号是14，因此最
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外层有4个电子，不易得电
外层有4个电子，不易得电
子也不易失电子，化学性
子也不易失电子，化学性
质比较稳定。太阳能电池
质比较稳定。太阳能电池
是用半导体硅做成的。
是用半导体硅做成的。
Ø在硅晶体中，原子按四角+4+4
Ø在硅晶体中，原子按四角
形系统组成晶体点阵，每
形系统组成晶
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