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EDX
能谱仪:EnergyDispersiveSpectrometer
EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM-EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的标配，是微区成分分析的主要手段之一
EDAX：EnergyDispersiveAnalysisfoX-rays，能谱分析
EDX：EnergyDispersiveX-raySpectrometer，能谱法
能谱的特点：能快速、同时对各种式样的微区内Be-U的所有元素，进行定性定量分析，几分钟即可完成；对试样与探测器的几何位置要求低，对W、D的要求不是很严格，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果；能谱分析探针电流小，对试样损伤小；检测限一般为0.1%---0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。
能谱定性分析原理：X射线的能量为E=h*r，h为普朗克常量，r为光子振动频率。不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量，即可确定元素---定性分析
特征X射线的产生：内壳层电子被轰击后跳到比费米能级高的能级上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时，多余的能量以特定波长的X射线光量子的形式放出就是特征X射线。
定量分析
有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高
无标样定量分析：标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算
试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的的X射线强度IA与标样中A元素的的X射线强度I（A）比，近似等于浓度比：KA=IA/I（A）=CA/C（A）。当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立，一般情况下必须经过修正才能获得试样中元素的浓度。KA=CA/C（A）*（ZAF）A/(ZAF)(A)，其中（ZAF）A/和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数。
ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法，一般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。Z：原子序数修正因子（电子束散射与Z有关）；A：吸收修正因子（试样对X射线的吸收）；F：荧光吸收因子（特征X射线产生二次荧光）
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量分析方法。强度比K=IS/Istd，表达式中Istd是标样强度，它是纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。
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