JJF(鄂) 111-2024 晶圆测试系统校准规范.docx

湖 北 省 地 方 计 量 技 术 规 范

JJF（鄂）111—2024

晶圆测试系统校准规范

CalibrationSpecificationforWaferTestSystem

2024-05-14发布

2024-09-01实施

湖北省市场监督管理局发布

JJF（鄂）111—

JJF（鄂）111—2024

JJF（鄂）111—2024晶圆测试系统系统

JJF（鄂）111—2024

CalibrationSpecificationforWaferTestSystem

归 口单位：湖北省市场监督管理局

主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所武汉大学

本规范委托中国船舶集团有限公司第七〇九研究所负责解释

JJF（鄂）111－2024

JJF（鄂）111－2024

本规范主要起草人：

薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）张骋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）刘倩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）王珩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）梁康（武汉大学）

目 录

引言 （II）

1.范围 （1）

2引用文件 （1）

3概述 （1）

3.1用途 （1）

3.2原理 （1）

3.3结构 （1）

4计量特性 （1）

4.1电压输出 （1）

4.2电流输出 （2）

4.3电压测量 （2）

4.4电流测量 （2）

4.5位移 （2）

5校准条件 （2）

5.1环境条件 （2）

5.2校准用设备 （2）

6校准项目和校准方法 （3）

6.1校准项目 （3）

6.2校准方法 （3）

7校准结果的处理 （7）

8校准周期 （7）

附录A校准结果的测量不确定度评定 （8）

附录B校准记录格式 （13）

I

JJF（鄂）111－2024

JJF（鄂）111－2024

II

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引 言

本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。

本规范为首次发布。

JJF（鄂）111－2024

JJF（鄂）111－2024

1

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范围

晶圆测试系统校准规范

本规范适用于新购进、使用中、修理后的晶圆测试系统的校准。

引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF1638-2017《多功能校准源校准规范》JJF1587-2016《数字多用表校准规范》

JJF1305-2011《线性位移传感器校准规范》JJG341-1994《光栅线位移测量装置》

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。

概述

用途

晶圆测试系统，用于对数字电路、模拟电路、混合信号电路等各类刻蚀好的集成电路裸晶圆片进行测试的能力。在集成电路生产测试、验证测试、性能测试、工艺改进、测试技术研究等方面有着广泛应用。

原理

晶圆测试系统包括对功能及参数的各类测量单元、控制晶圆片进给以及传输测量信号的探针台。晶圆片放置于探针台的承片台上通过探针与测量单元联接，通过测试程序控制测量单元及探针台，完成对晶圆片的功能及参数测试。因此，通过对集成电路测量单元与探针台位移单元的校准实现晶圆测试系统的校准。

结构

晶圆测试系统根据不同型号，由不同的模块单元组成，主要包括各类集成电路测量单元与自动程度不同的各型探针台。

计量特性

电压输出

测量范围：100mV～30V；最大允许误差：±1%

JJF（鄂）111－2024

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2

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电流输出

测量范围：100μA～2A；最大允许误差：±1%

电压测量

测量范围：100mV～30V；最大允许误差：±1%

电流测量

测量范围：100μA～2A；最大允许误差：±1%

位移

测量范围：0mm～300mm；

最大允许误差：±2μm。

注：被校系统具体的量程、最大允许误差等技术指标以被校系统生产厂家的说明书为准。

校准条件

环境条件

环境条件及其要求如下：

a)环境温度：22℃±2℃；

b)相对湿度：30％～75％；

c)供电电源：交流电压(220±22)V，频率(50±1)Hz；

防静电等级：抗静电级

其它要求：现场无影响测量设备正常工作的机械振动和电磁干扰。

校准用设备

校准用设备应经过法定计量技术机构检定或校准，满足校准使用要求，并在有效期内。

直流电源

直流电