JJF(鄂) 109-2024 集成电路测试系统加载板校准规范.docx

湖 北 省 地 方 计 量 技 术 规 范

JJF（鄂）109—2024

集成电路测试系统加载板校准规范

CalibrationSpecificationforLoadboardofIntegratedCircuitTestSystem

2024-05-14发布 2024-09-01实施

湖北省市场监督管理局发布

JJF（鄂）109—

JJF（鄂）109—2024

JJF（鄂）109—2024集成电路测试系统加载板校准规范

JJF（鄂）109—2024

CalibrationSpecificationforLoadboardofIntegratedCircuitTestSystem

归 口单位：湖北省市场监督管理局

主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所

本规范委托中国船舶集团有限公司第七〇九研究所负责解释

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本规范主要起草人：

孙崇钧（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）刘倩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

张明虎（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

目 录

引 言 （II）

1 范围 （1）

2 术语 （1）

2.1加载板 （1）

3 概述 （1）

3.1用途 （1）

3.2原理 （1）

3.3结构 （1）

计量特性 （2）

外观及附件 （2）

传输速率 （2）

幅值衰减 （2）

4.4误码率 （2）

4.5上升时间 （2）

校准条件 （2）

环境条件 （2）

校准用设备 （3）

校准项目和校准方法 （3）

校准项目 （3）

校准方法 （3）

校准结果表达 （7）

复校时间间隔 （8）

附录A测量不确定度评定示例 （9）

附录B校准记录格式 （13）

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引 言

本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。

本规范为首次发布。

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集成电路测试系统加载板校准规范

范围

本规范适用于集成电路测试系统加载板（以下简称“加载板”）的校准，也可用于新制备的加载板交付和验收时的性能验证。

术语

加载板Loadboard

集成电路测试系统测试通道口与被测集成电路引脚之间的连接电路，通常是以绝缘板为基材，切成一定尺寸，附有设计好的导电图。

概述

用途

加载板能够实现集成电路测试系统输入/输出端口与被测集成电路的输入/输出引脚之间的互连，也能作为计量标准装置与被校准集成电路测试系统信息交互。

原理

图1是集成电路测试系统加载板工作原理示意图。信号从信号发射模块发出后通过集成电路测试系统内部总线到达测试系统的测试通道口弹簧针（PogoPin），再通过加载板到达被测集成电路引脚（DUT（DeviceunderTest）I/O）。反之，信号从被测集成电路引脚到达加载板，通过集成电路测试系统内部总线到达信号比较模块。

测试系统内部总线信号发射/比较模块结构

测试系统内部总线

信号发射/比较模块

…

Pogopin DUTI/O

被测集成电路

被测集成电路

加载板

图1加载板工作原理示意图

如图2所示，加载板通常安装在固定架（Stiffener）上以实现与测试系统的完全适配，待测芯片置于加载板中间位置，通过测试座（DUTSocket）与加载板中间过孔

（PogoBlocks）连接，上下两排过孔位于两边位置，与集成电路测试系统测试头上的弹簧针连接，引出电源、数字信号、模拟信号等测试资源。

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图2加载板结构示意图

计量特性

外观及附件

加载板外观应完好无损，无明显弯曲，无影响正常工作的机械损伤。

传输速率

a）传输速率范围：200Mbps～3.6Gbps；b）最大允许误差：±0.01%。

幅值衰减

a）信号幅值衰减范围：≤10dB；b）信号幅度范围：200mV～1V；c）最大允许误差：±2dB。

误码率

误码率范围：0～1×10-2。

上升时间

a）上升时间范围（10%～90%）：＜1ns；

b）最大允许误差：±120ps。

注：加载板的