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各种真空泵参数、特点及原理

参数抽速:10-1200m/hSV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B的极限真

空度为0.5mbar(无气镇分压强)1.5mbar(带气镇分压

强)SV200,SV300,SV500,SV630,SV750,SV1200，SV1200的极限真空度为8*10-

2mbar(无气镇分压强)7*10-1mbar(带气镇分压强)

特点

排水蒸汽能力强、抽速大、

环保双级油封旋片

泵参数抽速:4-65m/h极限真空度:10-4mbar(无气镇分压强)2*10-3mbar(无

气镇全压强)5*10-3mbar(带气镇全压强)

特点强制润滑、内置自动防返油阀、进气口水平和垂直两种

安装方式、工作原理

1、单级旋片泵:泵主要由定子、旋片、转子组成，在定子缸内偏心地装有

转子，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力和旋片离心力作用使旋片紧贴于

缸壁，当转子在定子缸内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气

体，同时逐渐缩小排气口方面容积将已吸入气体压缩从排气阀排出。

2、双级旋片泵:由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转。无油

真空泵螺杆式无油压缩真空泵参数抽速:250-630m/h极限真空度:0.01mbar电机

功率:15KW噪音:75dB特点维护简单，不易出现故障，寿命长工作原理分为吸气、

压缩开始、压缩结束、排气四个过程，随着泵转子的转动，吸气过程开始，当

吸气过程结束后，压缩过程开始，泵进入压缩阶段，当压缩过程结束时，泵排

气过程开始，最后为排气过程，将被抽气体排出。

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活塞干泵参数抽速:15-38m/h极限真空度:3*10-2mbar排水蒸气能

力:30mbar

特点结构简单，方便维护，低能耗，坚固耐用工作原理通过曲轴连杆机构

的作用是使汽缸内的活塞做往复运动，当活塞在汽缸内从左端向右端运动时，

由于汽缸左端体积不断增大，汽缸内气体密度减小，而形成抽气过程，此时容

器中的气体经过吸气阀进入泵体左腔，当活塞达到最右位置时，汽缸内就完全

充满了气体，接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀关闭排气阀打开，将气

体排到大气中，完成一个循环。

膜片泵参数单级膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2

抽速:0.6-2.2m/h极限真空度:100mbar噪音:51-60dB双级膜片泵

DIVAC0.6L、1.2L、2.2L抽速:0.6-2.2m/h极限真空度:8mbar

特点无油真空泵，可选配气镇阀，耐水蒸气能力强，可抽除任何化学介质，

体积小，易保养维修工作原理暂缺涡旋式干泵SC5D15D30D参数抽速:5-30m/h

极限真空度:0.05-0.01mbar特点体积小、噪音低、低能耗、工作原理压缩腔一

面向中心处移动，压缩腔的容积一面连续逐渐变小，一个压缩腔从吸气，经压

缩，最后排气。

机械式增压泵罗茨泵

参数抽速:250-2050m/h3900-16000m/h特点采用冷风，加工精度高，震动

小，噪音低，分立式和卧式，与无油前级泵组合可组成无油真空机组，可以与

变频器配合使用，增加或降低抽速工作原理被抽气体由进气口进入转子与泵体

之间，一个转子和泵体把气体与进气口隔开，被隔开的气体在转子连续不断的

旋转过程中被送到排气口。油扩散泵DIP50000扩散泵参数抽速:300