JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范.pdfVIP

JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范

一、开机.

1.打开SEM总电源电闸（稳压器、UPS电源）﹐打开冷却水总电闸

2.如图1箭头所示打开冷却水电

温度显示

冷却水电源按钮

图1

3.等大约二十分钟后﹐观察并准认冷却水温度为20℃±2℃

4.把钥鍉插入主电源开关,并转到START,然后松手,这时钥匙自行转到ON,电

源供给真空pump系统,启动机器,如图2所显示.

图2

5.等大约10秒后,打开个人计算机并运行Windows

6.点击计算机桌面上的[JEOL-6390LV]MainMenu.如图3所示

图3

二、SEM样品的放入和更换

注意！样品放入和更换时Stage高度大于25

1.如图4所示执行以下两步操作

1步﹕点击工具栏上的Sample后界面会弹出SpecimenExchange对话框

2步﹕点击对话框中的Vent进行放真空。等界面中的Redy变成Vent时表示放真

空OK

图4

2.更换样品（注意带手套小心碰伤探头）

2.1确认放好真空后如图5所示慢慢打开样品室门

确认放真空后方可执行该动

作。并带好手套

图5

2.2将底座反过来看﹐底座是一边是方的﹐一边是圆的。在放样品时应由方的这

头由里轻轻推。如图6所示

图6

图7

2.3关样品室门及抽真空分别如图7﹐图8

微扶样品室门﹐并按

图8EVAC进行抽真空﹗

三、操纵杆功能介绍（如图9）

A.Z-axisknob:调整目镜至样品的距离,即调整WD（注意﹕Z=W+样品高度）

B.T-axisknob:用于设定观察物之倾斜影像,一定的WD对应于一定的旋转角度

C.X-axisknob:在水平面X方向移动样品,选择观察区域.

D.Y-axisknob:在水平面Y方向移动样品,选择观察区域.

E.R-axisknob:在水平面旋转样品.

更换物镜孔

片

Z-axis

knob

X-axisT-axis

knobknob

R-axisY-axis