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薄膜材料的X射线反射率测量介绍杨宁博士
XRD应用工程师
德国布鲁克AXS北京代表处
北京海淀区中关村南大街11号
光大国信大厦5201室，:100081
:010劳热线:800-810-9066
::010email:
2提纲ＸＲＲ介绍仪器硬件选择和测量配置ＸＲＲ数据解析
3什么是薄膜的反射率测量(XRR)?对材料外表非常敏感的技术无损纳米尺度检测晶体和非晶材料XRR可以提供哪些信息?薄膜厚度0.1nm–1000nm材料密度1-2%外表和界面粗糙度3-5nm反射率测量〔XRR〕是利用X射线在物质中发生的折射和反射〔外表，界面〕，以及反射线之间的互相干预对薄膜的性质〔密度，厚度，粗糙度〕进行研究的一种方法
可获得的样品信息膜层厚度化学成分膜层密度外表和界面粗糙度镜面反射
可以在样品中看到你的影子平整样品外表，二维方向没有结构样品外表粗糙度5nm膜层和衬底，或者不同的膜层之间存在比较显著的物质或者电子密度差异沿着x射线的方向，样品长度至少3-5毫米。5反射率测量(XRR)对样品的要求
6反射率测量(XRR)的根本原理X射线在样品外表发生反射和折射现象折射光进入样品内部，在薄膜于衬底/下一层的界面又发生反射和折射。两束反射光束发射干预，产生干预条纹
7反射率和密度的关系样品的密度越高，全反射角越大。样品的电子密度越高，高角度的反射强度越大
反射率和粗糙度的关系
9wavinessmicroscopicroughness微观尺度的粗糙原子级到-几个纳米使得反射光的强度降低XRR可接受大尺度的-Waviness〉100nm使反射光的宽度增大没有任何有用信息XRR无效样品外表要平反射率和粗糙度的关系两种不同的粗糙度
10包含了粗糙度模型的反射系数公式Exponentialdecay微观粗糙度模型界面为微观粗糙震荡的集合rms-roughnessσ:=standarddeviationoftheGaussiandistribution反射率和粗糙度的关系
粗糙度降低了反射光线的强度XRR对粗糙度是非常敏感的粗糙度造成X-射线的漫散射样品的界面和外表粗糙度要不大于3-5nm.反射率和粗糙度的关系
反射率和膜层厚度的关系
13不同界面的反射光相互干预形成干预条纹最小的可测量膜层厚度是由测量范围决定的最大的可测量膜层厚度是由仪器分辨率决定的样品的膜厚范围应在仪器的可测范围之内.反射率和膜层厚度的关系
14通过直射光的扫描半峰宽ΔΨ可以估算仪器的分辨率测量特定膜层厚度的前提XRR测量的仪器分辨率ThescatteringfunctionSisconvolutedwiththeresolutionfunctionRoftheinstrument:
15反射率干预条纹振幅反射率测量对膜层的电子密度很敏感反射率干预条纹振幅随着膜层之间密度差异的增大而增大。“好的”反射率样品膜层之间的电子密度差异要大
16反射率测量仪器和实验配置平行光几何不同的仪器分辨率光斑样品外表尺寸
17最简单的XRR仪器设置狭缝尺寸50-100μm最高强度大约107cps背底较高
18G?belMirror原理GM镜将大约≈0.35°的发散光聚焦成1.2mm的平行光(60-mmmirror)强度109cps背底低，只有KαParabolaX-raysourceGoebelmirrorSample
19Handlingthehighflux:RotaryAbsorber
自动旋转吸收片Scintillationcounterslinearupto2x105cps10,000timesmoreintensityfromthetubeside4-positionwheelwithplacesfor4differentabsorberfoilsstandardabsorptionfactors:
1-~10-~100-~10000Rotaryabsorber
20标准的XRR测量设置可以通过改变狭缝的宽度改变仪器的分辨率狭缝通常0.1–0.2mm强度≈2x108cps
21不同狭缝宽度的XRR测量数据with0.6mmslitwith0.1mmslit~5min~6.5h
22超薄材料的XRR测量配置入射光路狭缝很宽长索拉的角度分辨率~0.1°强度≈8x108cps
23反射率测量实例LaZrOonSiSi(111)
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