《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》.pdfVIP

ICS31.080

L40

备案号：DB32

江苏省地方标准

DB32/TXXXX—XXXX

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

Testmethodofperformanceofmicro-electromechanicalsystems

semiconductorgassensor

（报批稿）

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

江苏省市场监督管理局发布

DB32/TXXXX-XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4试验条件1

5检测方法2

6检测报告5

附录A测试箱装置介绍与气体配置方法7

参考文献9

I

DB32/TXXXX-XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由江苏省纳米技术标准化技术委员会提出、归口并组织实施。

本文件起草单位：苏州市计量测试院、苏州慧闻纳米科技有限公司。

本文件主要起草人：史苏娟、方丹、耿彦红、王瑞、董亮华、徐春、王震、孙旭辉。

II

微机电系统半导体气体传感器性能检测方法

1范围

本文件规定了微机电系统半导体气体传感器性能检测的试验条件、检测方法及检测报告。

本文件适用于微机电系统半导体气体传感器的性能检测。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T7665-2005传感器通用术语

GB/T26111-2023微机电系统(MEMS)技术术语

GB/T34004-2017家用和小型餐饮厨房用燃气报警器及传感器

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微机电系统micro-electromechanicalsystems；MEMS

基于微纳制造技术制备的功能结构、器件构成的系统。

[来源：GB/T26111-2023，3.1.1]

3.2

半导体气体传感器semiconductorgastransducer/sensor

利用半导体材料的电导率变化，将感受的气体转换成可用输出信号的传感器。包括表面电导式传

感器和体电导式传感器。

[来源：GB/T7665-2005，3.3.1.1]

3.3

传感器检测装置sensortestmodule

用于将传