电子显微分析.pptVIP

太原工业学院材料工程系

P2

1电子光学基础

2电子与固体物质的相互作用

3透射电子显微分析

4扫描电子显微分析

5电子探针X射线显微分析

6分析电子显微镜

7电子显微分析的应用

P3

v一、电子显微分析的基本概念

v电子显微分析是利用聚焦电子束与试样相互作用所

产生的各种物理信号,分析试样物质的微区形貌、晶

体结构和化学组成的分析方法,包括透射电子显微分

析、扫描电子显微分析和电子探针X射线显微分析等。

P4

v二、电子显微分析的特点

v1、可以在极高的放大倍率(最高可达107倍)下

直接观察试样的形貌、结构，选择分析区域；

v2、具有很高的分辨率(透射电子显微镜的分

辨率已达0.2~0.1nm)，可直接观察原子的排

列与分布，进行纳米尺度的结构分析和化学

成分分析；

v3.各种电子显微分析仪器日益向多功能、综

合化方向发展，可以同时进行形貌、物相P、5

晶体结构和化学成分的综合分析。

v三、电子显微镜的分类

v电子显微镜大体可划分为：

v1、透射电镜(TEM)

v2、扫描电镜(SEM)

v3、扫描透射电镜(STEM)

v4.扫描探针显微镜(