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基于Hammerstein模型的压电驱动器迟滞非线性建模与控制研究.pdf

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    摘要

    摘要

    随着微纳制造技术的发展，生物、微电子行业、微机电系统等领域对精度控

    制要求不断提高。压电陶瓷驱动器因其响应快、控制精度高、可靠性高等优良特

    点，能够广泛应用于高精度微纳定位系统。但压电陶瓷本身具有迟滞现象，呈现

    出多映射、率相关等非线性特性。若不能妥善解决此类特性，会降低压电的跟踪

    性能，同时可能导致系统产生振荡，甚至会破坏系统的稳定性。为消除迟滞非线

    性影响，需要对压电驱动器进行精准迟滞建模，进而得到模型对应的精密定位控

    制策略。

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