半导体行业深度研究：半导体检测设备，从前道到后道，全程保驾护航(202103).pdfVIP

行业报告|行业深度研究

半导体

半导体检测设备：从前道到后道，全程保驾护航

在半导体设计、制造、封装中的各个环节都要进行反复多次的检测、测试以

确保产品质量，从而研发出符合系统要求的器件。缺陷相关的故障成本影

响高昂，从IC级别的数十美元，到模块级别的数百美元，乃至应用端级别

的数千美元。因此，检测设备从设计验证到整个半导体制造过程都具有无法

替代的重要地位。

检测设备作为能够优化制程控制良率、提高效率与降低成本的关键，未来在

半导体产业中的地位将会日益凸显。预计未来我国半导体检测设备市场广

阔，其主要原因为当前复杂的地缘政治带来国产替代的迫切需求；国家政策

大力支持集成电路产业，产业发展迅速；半导体产业重心由国际向国内转移

带来机遇；中国市场已成为全球最大的设备市场；新应用领域不断涌现，新

器件性能迭代加速，带来设计公司发展新机遇；芯片集成度的不断提高，迎

来了检测设备的更大需求。2020年我国半导体检测设备市场为176亿元，

预计未来五年预计复合增长率为14%，增速高于全球。

广义上的检测设备分为前道量检测和后道测试设备。量检测的对象是工艺

过程中的晶圆，测试的对象是工艺完成后的芯片。前道量检测对每一步工艺

过程的质量进行测量或者检查，以保证工艺符合预设的指标，防止出现偏差

和缺陷的不合格晶圆进入下一道工艺流程。前道量检测设备2020年全球市

场为69亿美元，我国约15亿美元。前道量检测按照测试目的分为量测和

检测。按照应用主要分为关键尺寸量测、薄膜的厚度量测、套刻对准量测、

光罩/掩膜检测、无图形晶圆检测、图形化晶圆检测和缺陷复查。按照技术

主要分为光学检测设备、电子束检测设备。国际市场头部企业为美国KLA、

美国AMAT、日本Hitachi和美国Onto，这四大设备商产品类型丰富，垄断

了全球市场，全方位高筑壁垒。中国半导体企业精测电子（设立子公司上海

精测）、赛腾股份（收购Optima）和中微公司（入股上海睿励），积极加大

量检测领域的研发投入，基于已有技术基础通过投资并购占据中国广大量检

测市场先机，建议关注。

后道测试设备关注的是在所有晶圆工艺完成后芯片的各种电性功能。后道测

试设备2020年全球市场为62亿美元，我国约14亿美元。测试设备分为测

试机、探针台和分选机。测试机占比约63%，国际市场中爱德万和泰瑞达占

据寡头垄断地位，同时先进封装领航者ASMPACIFIC近年来在光电测试领

域积极布局。我国市场中精测电子（设立子公司武汉精鸿）、华峰测控和长

川科技有望依托中国市场的发展在相关细分赛道中迎来机遇。探针台占比约

15%，国际市场中东京精密和东京电子市占率过半，我国市场中长川科技在

积极研发中。分选机占比约17%，由于该细分领域壁垒相对多样化，其竞争

优势侧重有所不用，更易于市场化突破。

我们建议重点关注随着未来人工智能、物联网、新能源汽车等新应用领域

所带来的检测行业发展机遇。同时随着芯片集成度越来越高，工艺步骤越

来越复杂，晶圆在生产过程中需要量检测和测试的频次也越来越高，驱动

检测设备市场需求不断提升。基于以上，精测电子的检测设备有望凭借其

自身技术内生发展和外部投资并购布局量价齐升。

投资建议：精测电子（推荐）、ASMPACIFIC（与海外团队联合覆盖）、长川

科技（建议关注）、华峰测控（建议关注）

风险提示：半导体行业周期性、产业配套环境有待进一步改善、高端技术人

才相对缺乏、国内企业规模较小造成品牌影响力不足

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内容目录

1.检测设备：保驾护航、侦测并监控半导体关键良率偏移5

1.1.分类：前道量检测、后道测试，提升良率保障性能5

1.2.市场趋势：新应用涌现驱动市场潜力、工艺步骤倍增拓宽市场空间6

1.3.市场规模：重要地位日益凸显，中国增速高于全球9

1.4.竞争格局：国外高度垄断，国产替代需求迫切有望提速11

2.前道量检测设备：物理、功能性检查，提升良率，市场壁垒高筑11

2.1.三种分类标准：检测目的、应用范畴、技术原理12

2.2.检测目的分类