《离子辅助沉积用射频离子源》（征求意见稿）.docx

T/ACCEMXXXX—XXXX

1

离子辅助沉积用射频离子源

1范围

本文件规定了离子辅助沉积用射频离子源的产品参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、包装、运输和贮存。

本文件适用于离子辅助沉积用射频离子源的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T17626.2电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验

GB/T17626.4电磁兼容试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验

GB/T17626.5电磁兼容试验和测量技术浪涌(冲击)抗扰度试验

GB/T17626.11电磁兼容试验和测量技术第11部分：对每相输入电流小于或等于16A设备的电压暂降、短时中断和电压变化抗扰度试验

GB/T18268.1测量、控制和实验室用的电设备电磁兼容性要求第1部分：通用要求3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4产品参数

产品参数如表1所示。

表1产品参数

项目

指标

最大束流

1500mA

离子发射能量

1500eV

中和电子供应能力

3A

连续工作时间

200h

工作气体

氧气、氩气

5技术要求

5.1工作环境

产品的工作环境应符合以下规定：

a)环境温度：5℃~40℃;

b)环境相对湿度：30%RH～70%RH；

c)大气压力：在86kPa～106kPa范围内的当地平均大气压；

d)不应受到影响使用的震动和强电磁场干扰；

e)供电电源：三相208V交流电，交流电压180V～229V，频率47Hz～63Hz；

f)室内应无腐蚀性气体，通风良好。

T/ACCEMXXXX—XXXX

2

5.2外观

5.2.1产品应外观整齐、清洁，表面涂、镀层无明显剥落、擦伤、露底及污垢。

5.2.2外壳应平整，放于平台上不应有摇动现象。

5.2.3零件结合处应整齐，无毛刺、锐棱和粗糙不平现象，刚性连接部件不得松动。

5.2.4仪器可拆卸部分应无障碍地拆装。

5.2.5铭牌及标志应清楚，所有紧固件不得松动，各调节器件转动灵活，功能正常。

5.3尺寸偏差

产品各部件实际尺寸与标示尺寸相符，允许偏差为±5%。如有特殊要求，可根据顾客要求而定。

5.4装配质量

5.4.1产品各部件应齐全、完整，产品装配应正确，紧固件应紧固到位、无松动。

5.4.2产品部件应有足够的强度在正常安装和使用时不应发生破坏或变形。

5.5功率重复性

产品重复性应不大于1.5%。5.6功率稳定性

产品稳定性应不大于2%。

5.7可靠性

产品首次故障前工作时间应不小于1000h。

5.8安全

5.8.1绝缘电阻

产品在正常工作条件下，绝缘电阻应大于20MΩ。

5.8.2介电强度

产品在正常工作条件下，应能承受1500V交流有效值连续1min的电压试验，不应出现飞弧或击穿现象。

5.8.3泄漏电流

产品在正常工作条件下，泄漏电流应不大于5mA。

5.9电磁兼容性

应符合GB/T18268.1的规定，产品在进行静电放电抗干扰度、电快速瞬变脉冲群抗扰度、浪涌（冲击）抗扰度试验和电压暂降、短时中断和电压变化抗扰度试验时满足5.5、5.6的要求。

6试验方法

6.1外观

在自然光线下以目测检验。6.2尺寸偏差

用标准的通用量具进行测量。

6.3装配质量

在自然光线下，通过实际操作，目测手感检验。

6.4功率重复性

T/ACCEMXXXX—XXXX

3

在产品处于最佳工作状态下，通入相同流量的气体，连续10次测量此流量下的设备功率。

RSD=×100%·······························································

式中：

RSD——相对标准偏差，%；Ci——测量值，%；

C——测量平均值，%；n——测量次数。

6.5功率稳定性

产品开机稳定后，等离子源解体气体，测量解离率，制作工作曲线，在不小于2h内，间隔15min以上，重复6次测量，相对标准偏差即稳定性。

········································································

式中：

Ci——测量值，%；

C——测量平均值，