硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN109323797A

(43)申请公布日2019.02.12

(21)申请号CN201811253081.0

(22)申请日2018.10.25

(71)申请人中国科学院电子学研究所

地址100190北京市海淀区北四环西路19号

(72)发明人陈德勇李亚东鲁豫岚郑宇王军波

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司

代理人李坤

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法

(57)摘要

本公开提供一种硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法，该硅谐振压力传感器自动标定系统，包括：温箱、压力控制器、信号采集电路板以及计算机；温箱用于改变硅谐振压力传感器标定时所处环境的温度；压力控制器用于改变硅谐振压力传感器标定时所受的压力；信号采集电路板用于将硅谐振压力传感器输出的频率信号做放大、滤波和计数处理；计算机用于控制所述温箱和所述压力控制器，使其满足标定的温度和压力条件，并读取所述信号采集电路板输出的谐振频率数据；本公开提供的硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法通过设置温箱、压力控制器以及计算机，从而实现对硅谐振压力传感器准确、自动化以及高效地标定。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

权利要求说明书

1.一种硅谐振压力传感器自动标定系统，包括：

温箱，用于改变硅谐振压力传感器标定时所处环境的温度；

压力控制器，其与所述硅谐振压力传感器连接，用于改变硅谐振压力传感器标定时所受的压力；

信号采集电路板，其与所述硅谐振压力传感器连接，用于将硅谐振压力传感器输出的频率信号做放大、滤波和计数处理；以及

计算机，其分别与所述温箱、所述压力控制器以及所述信号采集电路板连接，用于控制所述温箱和所述压力控制器，使其满足标定的温度和压力条件，并读取所述信号采集电路板输出的谐振频率数据；

其中，所述计算机对汇总数据中的温度、压力以及谐振器频率进行多项式拟合，求解相关系数，确定输出的谐振频率信号与输入的压力信号的对应关系。

2.根据权利要求1所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，所述硅谐振压力传感器自动标定系统还包括：

多通道气路板，设置于所述温箱内，包括：

进气口，其与所述压力控制器的出气口通过气管连接；以及

出气口，与所述硅谐振压力传感器连接；

其中，所述出气口包括多个，多个所述出气口分别与一硅谐振压力传感器连接。

3.根据权利要求2所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，所述多通道气路板的材质为铝。

4.根据权利要求1所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，其中：

所述温箱为ESPEC环境试验箱SU-262；

所述压力控制器为Fluke压力控制器PPC4；

所述电源为KEITHLEY2231A-30-3型多通道直流电源。

5.根据权利要求1所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，所述信号采集电路板包括：

stm32单片机；以及

8选1数据选择器，分别与所述stm32单片机和所述硅谐振压力传感器连接，用于切换多路压力传感器输出的频率信号。

6.根据权利要求1所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，还包括：电源，与所述信号采集电路板通过导线连接，用于为所述信号采集电路板供电。

Claim7.根据权利要求1至6中任一项所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，其中：

所述温箱和所述计算机的通信方式为TCP/IP；

所述压力控制器和所述计算机的通信方式为串口通信RS232；

所述信号采集电路板和所述计算机的通信方式为I2C通信。

Claim8.根据权利要求1至6中任一项所述的硅谐振压力传感器自动标定系统，其中：

所述温箱和所述计算机通过网线连接；

所述压力控制器和所述计算机通过RS232转USB数据线连接；

所述信号采集电路板和所述计算机通过I2C转USB数据线连接；

所述压力传感器和所述信号采集电路板通过屏蔽线缆连接。

9.一种硅谐振压力传感器自动标定方法，使用如权利要求2所述的硅谐振压力传感器自动标定系统进行标定，包括：

步骤A：根据设定的待标定的温度点和压力点控制温箱和压力控制器，使其满足标定的温度和压力条件；

步骤B：待温箱和压力控制器满足标定条件后，开始采集温度、压力以及硅谐振压力传感器输出的频率信号；

步骤C：重复步骤A和步骤B，直至采集多组对应的温度、压力以及频率信号；

步骤D