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摘要
减反射微纳结构表面具有宽光谱、宽角度抗反射的优异光学性能，其在光电池、
光探测领域具有广阔的应用前景。但随着微纳结构表面研究与应用的日益广泛，为实
现对目标光场的无畸变波前调控，其结构单元通常具有亚波长的结构特性，同时具有
较高的结构深宽比。周期结构单元微小和高深宽比的特性使微纳结构表面易受到外界
环境损伤，进而影响光学性能。为增强微纳结构表面的机械稳定性，延长其使用寿命，
本文提出一种以单晶硅为基底，构建氧化硅材料复合网栅结构的减反射微纳结构表面。
使减反射微纳结构处于复合网栅下层，被保
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