薄膜铁磁材料特征参数扫场扫频测试方法探讨.pdf

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电子质量2021年第03期(总第408期)

薄膜铁磁材料特征参数扫场/扫频测试方法探讨

StudyonField/FrequencySweepMeasurementforParametersofThinFilmFerromagnetic

Materials

赵敏,梁琼崇(工业和信息化部电子第五研究所,广东广州510610)

ZhaoMin,LiangQiong-chong(TheFifthElectronicsResearchInstituteofMinistryof

InformationIndustry,GuangdongGuangzhou510610)

：，基于

摘要微波薄膜铁磁材料主要参数是共振磁场强度和共振线宽VNA的扫场测试可直接得到共振磁

场强度和共振线宽，而且测量精度高，可测量薄膜方向性，但耗时长。而扫频测试虽然只能得到谐振点频率

和频率宽度，且精度低，但速度极快。通过理论论证和实验分析，探讨了一种扫场和扫频相结合的新技术来

解决这个矛盾。首先估算铁磁材料的另两个特征参数旋磁比酌和饱和磁化强度M，然后由扫频频宽来估算s

共振线宽。实验表明，扫频估算线宽与扫场测量线宽的差异在6%以下。

：；扫场测试；扫频测试

关键词薄膜铁磁材料；共振参数；共振线宽

：：

中图分类号O484.43文献标识码：A文章编号1003-0107(2021)03-0046-04

Abstract:Themainparametersofmicrowavethinfilmferromagneticmaterialsaretheresonancemagnetic

fieldintensityandlinewidth.Theycanbedirectlyobtainedbyfield-scanningtestbasedonVNAwithhigh

accuracy,andthedirectivitycanbemeasured,butmeasurementtimeisverylong.Althoughthefrequency-

scanningtestcangettheresonantfrequencyandfrequencywidth,andtheaccuracyislow,butthespeedis

extremelyfast.Basedontheoreticalanalysisandexperimentalverification,thispaperdiscussesanewtechnique

combiningfield-scanningandfrequency-scanningtosolvethiscontradiction.Firstly,twocharacteristic

parameters,thegyromagneticratioγandthesaturationmagnetizationintensityM,wereestimated.Thenthes

resonancelinewidthisestimatedfromfrequencywidth.Thetestsshowthatthedifferenceislessthan6%.

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