自动化仪器仪表在半导体行业的应用趋势.pdf

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自动化仪器仪表在半导体行业的应用趋势

张婉丽

(博益(天津)技术研究所有限公司北京100068)

摘要：本文针对现阶段自动化仪器仪表的技术状况，结合半导体行业中的应用需求，浅议未来自动化仪器仪表在集成技术．人机对话技

术以及可靠性方面：的发展趋势。

关键词；自动化洲试仪表可靠性人机对话

中图分类号lTP21文献标识码：A文章编号：1672--3791(2013)0l(b)--O]03--01

科学技术的飞速发展促使社会意识形心参数。对工艺气体压力的检测通常采用是为了便于更好的控制工艺流程，提高对

态发生转变，使得人们对生活的追求更加压力计以及相关的各种真空检测设备。半设备的可控性，如果自动化测试仪表具有

富有人文主义特色，社会各领域对环境的导体设备的正常运行必须以厂务设施作为强大的人机对话特性，能够快速、准确的体

要求更加严格，对产品的现代化程度要求保证，包括水、电、气等条件，其中“水”主要现设备运行状态，在半导体制造工业中无

更高，其中节能减排战略促使新型能源产用于设备冷却或者恒温加热，因此需要采疑起到了举足轻重的作用。自动化仪表的

业风靡全球，带动了全球半导体技术的进用压力表对水压、CDA(condensedair)等进人机对话性能是通过设备控制端和仪器之

一步发展，比如太阳能行业逐渐成为新时行严格控制方可保证工艺正常运行。间的对话界面实现，通过人类可以识别的

期的朝阳产业，该行业中对仪器仪表提出(2)流量计。界面端口，读取仪表对设备状态的检测数

了新的要求。作为现代化仪器仪表的制造流量计一般应用在化学沉积系统中，据，从而对工艺过程起到指导作用。

商，间接地为现代化科技的发展创造了基对气体流量起到监测、控制作用。对于半导2．2集成技术的标准化发展

础科研平台，通过提供先进的仪表，可以提体工艺来说，产品制备工艺参数是决定器自动化仪表的应用直接依赖于其能否

高用户的生产效率，提升产品质量，监控排件性能的关键因素，其中化学气相沉积系与其他设备形成对话流畅的有机整体，随

放，为低碳经济做出更大的贡献。统中反应气体的流量对最终产品质量起到着人类科学技术的不断进步，半导体行业

直接的决定性作用，对气体流量的控制不对自动化仪表的使用需求逐渐增多，不同

1半导体行业对自动化仪器仪表需求分仅要体现动态时效性，更重要的是要在量设备具有不同的逻辑控制系统，如何将自

析的控制上具备较高的精确度，目前国内制动化测试仪表的接口、通信，软件控制单元

1．1自动化仪器仪表现状备MFc的技术已相对成熟，为我国半导体和半导体设备逻辑控制语言相融合成为该

全球科技创新的日新月异带动了我国行业的发展奠定了基础。行业技术发展的瓶颈，如果实现测试仪表

制造业的飞速发展，进入新世纪以来，我国(3)传感器。在不同半导体设备上的集成标准化，将大

半导体行业对自动化仪表的需求明显加传感器在现代工业时代的使用极为广幅度提升自动化测试技术的进步。

强，无论从技术特点还是市场数量上都呈泛，半导体设备中对传感器的使用大多体2．3可靠性技术的提高

现递增趋势，从技术含量上分析，我国科现在设备机械传动部分。在半导体产品制自动化仪表在工业生产中起到“中枢

研、量产中所使用的自动化仪表已经处于造中，要实现设备的流水线运行，离不开高神经的作用，对其可靠性不容忽视，尤其

世界领先水平。