mems陀螺随机误差建模与补偿 .pdf

mems陀螺随机误差建模与补偿

MEMS陀螺（微机电系统陀螺仪）是一种具有极高灵敏度以及精

确度的设备，是现今微机电系统技术在航空、航天、自动控制等领域

的一项重要应用。传统陀螺仪在外界环境变化、测量量程较大时，随

机误差会增大，而MEMS陀螺仪在采用微机电系统技术之后，其误差

可控性及精确度得到了显著提高。因此，MEMS陀螺仪在航空、航天

及自动控制等领域的应用也显著增加。

可是，MEMS陀螺仪的误差并不能完全控制，其误差模型及补偿

技术也在不断发展和完善。本文研究了MEMS陀螺随机误差模型以及

基于BLDC马达控制系统的MEMS陀螺随机误差补偿研究，为航空、航

天及自动控制等陀螺仪应用提供技术支持。

1.MEMS陀螺的概述

MEMS陀螺仪是一种新型的精密测量仪器，它相较于传统的陀螺

仪，可以提供更高的精度和灵敏度，这种仪器的优点是其小巧的体积

以及低成本的制造，这是由于其利用微机电系统技术，并运用了特定

的晶体和显微结构，以及其他小型元件，来实现陀螺仪的检测功能。

MEMS陀螺仪是一种数字传感器，它可以较高精度的测量方向和

角速度信号。它可以用来测量角速度及其变化，从而获得某对象的运

动轨迹状态，而且它也可以提供重力检测，和检测环境中占据主导地

位的磁场改变等信号。MEMS陀螺仪可用于实时指示物体在空间中的

运动及角度，甚至能指示物体在水池中的游动以及在航空中的运动轨

迹。

-1-

2.MEMS陀螺随机误差模型分析

MEMS陀螺仪随机误差模型是对MEMS陀螺仪表征数据的重要计算。

它可以帮助我们理解陀螺仪的抗干扰能力以及它的精度和精确度。

MEMS陀螺仪的随机误差分为三个主要的模型，分别是抖动误差模型、

备用度误差模型以及系统误差模型。

（1）抖动误差模型

抖动误差是指MEMS陀螺的角位移和角速度的不稳定性，也就是

随机的瞬时变化。一般来说，抖动误差是由电子零件的静电失效和热

分解作用产生的，可由噪声波动来表征。

（2）备用度误差模型

备用度误差是由MEMS陀螺仪在温度变化时所产生的误差。由于

MEMS陀螺仪是一种小型微机电系统零件，它虽然能抵御外界环境影

响，但在它的内部尺度温度变化时，其静和动态性能会遭受很大的影

响，从而产生备用度误差，这是由MEMS陀螺仪的内部备用度体系所

带来的。

（3）系统误差模型

系统误差主要指MEMS陀螺仪相对于它的外部环境以及其他系统

而言，所产生的误差。例如，当MEMS陀螺仪和其它传感器一起使用

时，其误差会受系统参数的影响，从而产生系统误差。

3.MEMS陀螺随机误差补偿

MEMS陀螺仪的随机误差补偿技术是提高MEMS陀螺仪精度的重要

措施，补偿技术可以有效提高MEMS陀螺仪的性能。本文研究了一种

-2-

基于BLDC马达控制系统的MEMS陀螺随机误差补偿技术。

首先，利用Kalman滤波器对MEMS陀螺仪输出的角位移以及角速

度数据进行处理，并将误差消除，得到滤波后的MEMS陀螺仪信号。

其次，利用深度学习技术，为MEMS陀螺仪设计基于BLDC马达控

制系统的补偿模型，主要是针对MEMS陀螺仪的随机误差进行补偿，

以及减少BLDC马达控制系统误差度。

最后，将滤波后的MEMS陀螺及补偿后的BLDC马达控制系统输出

信号通过加权信号处理输入到最终的输出中，最终获得性能更好的

MEMS陀螺仪输出信号。

结论

本文研究了MEMS陀螺随机误差模型以及基于BLDC马达控制系统

的MEMS陀螺随机误差补偿技术，通过Kalman滤波器以及深度学习技

术实现了MEMS陀螺随机误差补偿，有效提高了MEMS陀螺仪的性能。

同时，这项研究为今后更高精度的MEMS陀螺仪设计提供了技术参考，

为航空、航天及自动控制等陀螺仪应用奠定了基础。

-3-