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GEM400技术应用与案例分析
1.引言
在半导体制造业中，设备控制系统的标准化对于提高生产效率、降低故障率和确保产品质量具有重要意义。SEMI（国际半导体设备与材料协会）制定的SECS/GEM（SemiconductorEquipmentCommunicationStandard/EquipmentModel）标准成为行业内的通用规范。GEM400是SECS/GEM标准的一个重要分支，适用于400mm直径晶圆的制造设备。本节将详细介绍GEM400技术的应用场景和案例分析，帮助读者更好地理解和应用这一标准。
2.GEM400技术概述
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