半导体制造环境控制系统（ECS）系列：温度控制系统_（7）.温度控制系统中的PID控制.docx

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温度控制系统中的PID控制

引言

在半导体制造过程中，温度控制是至关重要的环节。温度的微小变化可能会对产品的质量和产量产生显著影响。因此，精确的温度控制对于确保生产过程的稳定性和可重复性至关重要。PID（比例-积分-微分）控制是一种广泛应用于温度控制的反馈控制机制，能够有效处理各种复杂的温度控制需求。

PID控制的基本概念

PID控制是一种基于反馈的控制算法，通过比例（Proportional）、积分（Integral）和微分（Derivative）三个参数来调节控制系统的输出，以实现对被控变量（如温度）的精确控制。PID控制器的输出由以下三个部分组成：