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半导体制造环境控制系统（ECS）系列：温度控制系统_（3）.洁净室温湿度控制技术.docx

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    洁净室温湿度控制技术

    1.洁净室温湿度控制的重要性

    在半导体制造过程中，洁净室的温湿度控制是至关重要的。温湿度的波动会影响半导体材料的性能、工艺过程的稳定性和最终产品的质量。以下是几个关键点，说明温湿度控制的重要性：

    材料性能：半导体材料对温度和湿度非常敏感。温度过高或过低会导致材料的物理和化学性质发生变化，影响其导电性能和可靠性。

    工艺稳定性：许多半导体制造工艺，如光刻、蚀刻、沉积等，都需要在严格的温湿度条件下进行。任何微小的波动都可能导致工艺失效或产品缺陷。

    设备性能：半导体制造设备对环境条件要求极高。温湿度的不稳定会影响设备的运行效率和寿命，增加

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