半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（13）.洁净室测试与认证.docxVIP

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洁净室测试与认证

在半导体制造过程中，洁净室的环境控制至关重要。洁净室测试与认证是确保洁净室环境符合预定标准的关键步骤。本节将详细介绍洁净室测试与认证的原理、方法和标准，以及如何使用软件工具进行相关测试和认证。

洁净室测试的基本原理

洁净室测试的基本原理是通过一系列的物理和化学测试，评估洁净室内的颗粒物、微生物、化学污染物等的浓度，确保其达到预定的洁净度标准。常见的测试参数包括：

颗粒物浓度：测量空气中不同大小颗粒物的数量。

微生物浓度：测量空气中细菌、真菌等微生物的数量。

气流速度和方向：确保气流的均匀性和方向性，防止污染源的传播。

温度和湿度：保持适

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