半导体制造环境控制系统（ECS）系列：温度控制系统_（5）.温度传感器的种类与应用.docx

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温度传感器的种类与应用

在半导体制造过程中，温度控制是至关重要的环节之一。温度传感器作为环境控制系统（ECS）的重要组成部分，其种类和应用直接影响到工艺的稳定性和产品的质量。本节将详细介绍半导体制造中常用的温度传感器种类及其应用。

1.温度传感器的分类

温度传感器根据其工作原理和物理特性可以分为以下几类：

1.1热电阻（RTD）

热电阻（ResistanceTemperatureDetector,RTD）是一种基于金属电阻随温度变化而变化的传感器。常见的金属材料包括铂、铜和镍。RTD的温度范围较广，通常从-200°C到850°C，具有较高的精度