电容式传感器.ppt

**电容式传感器应用的拓展为了拓展学生的思路介绍两个例子：1．电缆芯偏心测量电缆芯导体与两对电极构成了两对差动式电容传感器，经两组测量电路输出，确定电缆芯位置。2．密封仓料位的指示仓内悬挂金属探头对大地的分布电容进行检测，料位不同，则改变介电常数，其分布电容也改变。6.2.3脉冲宽度调制电路设双稳态触发器输出高电平U1，低电平0,R1=R2当d1=d0-Δd,d2=d0+Δd时,有直流输出电压uAB与极距变化量成正比。或第31页,共62页，星期六，2024年，6月6.2.3脉冲宽度调制电路对于差动式变极距型电容式传感器,对于差动式变面积型电容式传感器,(6-29)(6-30)第32页,共62页，星期六，2024年，6月6.2.4电桥电路交流电桥的多种形式第33页,共62页，星期六，2024年，6月变压器电桥电路第34页,共62页，星期六，2024年，6月缺点：由于电路输出为交流电，应进行相敏检波后，才能辨别位移方向。对于变间隙式差分电容传感器经分析推导可得：优点：把变间隙式电容传感器的位移与电容的非线性关系转化为位移与输出电压的线性关系。可得：第35页,共62页，星期六，2024年，6月电容式传感器的优点：(1)输入能量小而灵敏度高。(2)精度高达0.01%。(3)动态特型好，适合测量动态参数。(4)能量损耗小。(5)结构简单，环境适应性好(高温、辐射等)缺点：电缆分布电容影响大。集成电路、双屏蔽传输电缆等——降低分布电容影响。广泛用于位移、压力、流量、液位等测量。6.3电容式传感器的应用第36页,共62页，星期六，2024年，6月第37页,共62页，星期六，2024年，6月电容式传感器的应用举例1.电容式料位计用于水泥、化工、罐装等传感器静电容：电容测深度、角度第38页,共62页，星期六，2024年，6月高压侧进气口低压侧进气口电子线路位置内部不锈钢膜片的位置电容式差压变送器外形图第39页,共62页，星期六，2024年，6月电容式传感器的应用举例．电容式压力传感器???电容式传感器电容传感器盒膜结构片P2玻璃盘镀金层金属膜片C2电极引线p1C1第40页,共62页，星期六，2024年，6月电容式传感器的应用举例电容式压力传感器结构：测量膜片（金属弹性膜片）——动片；两个玻璃球面上镀有金属——定片；膜片两侧左右两定中充满硅油。工作过程：当两室分别承受低压（PL）和高压（PH）时，硅油能将压差传递到测量膜片，第41页,共62页，星期六，2024年，6月电容式传感器的应用举例电容式压力传感器当PH=PL时，膜片处于中间位置，C1=C2；当有差压作用时，测量膜片产生形变：PHPL时，膜片PL向弯曲，C1C2，；PHPL时，膜片PH向弯曲，C1C2；将这种电容变化通过电路转换为电压变化第42页,共62页，星期六，2024年，6月第43页,共62页，星期六，2024年，6月各种电容式差压变送器外形图第44页,共62页，星期六，2024年，6月6.3电容式传感器的应用（2）加速度传感器6-121第45页,共62页，星期六，2024年，6月硅微加工加速度传感器原理1－加速度测试单元2－信号处理电路3－衬底4－底层多晶硅（下电极）5－多晶硅悬臂梁6－顶层多晶硅（上电极）第46页,共62页，星期六，2024年，6月硅微加工电容加速度传感器第47页,共62页，星期六，2024年，6月微加工三轴加速度传感器技术指标：灵敏度：500mV/g量程：10g频率范围：0.5-2000Hz安装谐振点:8kHz分辨力：0.00004g重量：200g安装螺纹：M5mm线性误差：≤1%第48页,共62页，星期六，2024年，6月加速度传感器在汽车中的应用装有传感器的假人气囊第49页,共62页，星期六，2024年，6月汽车气囊的保护作用使用加速度传感器可以在汽车发生碰撞时，经控制系统使气囊迅速充